A vákuumos bevonó berendezések jellemzően több kulcsfontosságú alkatrészből állnak, amelyek mindegyikének megvan a saját speciális funkciója, és amelyek együttesen működnek a hatékony, egyenletes filmlerakódás elérése érdekében. Az alábbiakban a fő alkatrészek és azok funkcióinak leírása található:
Fő alkatrészek
Vákuumkamra:
Funkció: Alacsony nyomású vagy nagy vákuumú környezetet biztosít, hogy megakadályozza a bevonóanyag reakcióját a levegőben lévő szennyeződésekkel párolgás vagy porlasztás során, biztosítva a film tisztaságát és minőségét.
Szerkezet: Általában nagy szilárdságú rozsdamentes acélból vagy alumíniumból készül, a belső kialakítás figyelembe veszi a légáramlás eloszlását és az aljzat könnyű elhelyezhetőségét.
Vákuumszivattyú rendszer:
Funkció: A vákuumkamrában lévő gáz kiszivattyúzására szolgál a kívánt vákuumszint elérése érdekében.
Típusok: Beleértve a mechanikus szivattyúkat (pl. forgólapátos szivattyúk), turbomolekuláris szivattyúkat, diffúziós szivattyúkat és ionszivattyúkat.
Párolgási forrás vagy porlasztási forrás:
Funkció: vákuumban felmelegíti és elpárologtatja a bevonóanyagot, így gőzt vagy plazmát képez.
Típusok: beleértve az ellenállásos fűtőforrást, az elektronnyalábos párologtatási forrást, a magnetronos porlasztási forrást és a lézeres párologtatási forrást stb.
Hordozótartó és forgató mechanizmus:
Funkció: Megtartja az aljzatot, és forgatás vagy oszcilláció révén biztosítja a bevonóanyag egyenletes lerakódását az aljzat felületén.
KIALAKÍTÁS: Általában állítható szorítókat és forgó/oszcilláló mechanizmusokat tartalmaz a különböző formájú és méretű aljzatok befogadására.
Tápellátás és vezérlőrendszer:
Funkció: Áramellátást biztosít a párologtató forrásnak, a porlasztó forrásnak és egyéb berendezéseknek, valamint szabályozza a teljes bevonási folyamat paramétereit, például a hőmérsékletet, a vákuumot és az időt.
Alkatrészek: Tartalmazza a tápegységeket, vezérlőpaneleket, számítógépes vezérlőrendszereket és felügyeleti érzékelőket.
Gázellátó rendszer (porlasztásos bevonatoló berendezéshez):
Funkció: Inert gázokat (pl. argon) vagy reaktív gázokat (pl. oxigén, nitrogén) szállít a plazma fenntartásához vagy egy adott vékonyréteg létrehozásához szükséges kémiai reakcióban való részvételhez.
Alkatrészek: Tartalmazza a gázpalackokat, az áramlásszabályozókat és a gázszállító csöveket.
Hűtőrendszer:
Funkció: hűti a párologtató forrást, a porlasztó forrást és a vákuumkamrát a túlmelegedés megakadályozása érdekében.
Típusok: vízhűtéses rendszerek és léghűtéses rendszerek stb.
Megfigyelő és észlelő rendszer:
Funkció: A bevonási folyamat kulcsfontosságú paramétereinek, például a filmvastagságnak, a lerakódási sebességnek, a vákuumnak és a hőmérsékletnek a valós idejű monitorozása a bevonat minőségének biztosítása érdekében.
Típusok: többek között kvarckristályos mikromérleg, optikai vastagságmérő és maradékgáz-elemző.
Védőeszközök:
Funkció: Biztosítja a kezelők és a berendezések biztonságát a magas hőmérséklet, nagyfeszültség vagy vákuumkörnyezet okozta veszélyekkel szemben.
Alkatrészek: Tartalmazza a védőburkolatokat, vészleállító gombokat és biztonsági reteszeket stb.
Összefoglalni.
A vákuumbevonó berendezések ezen komponensek szinergikus munkájának köszönhetően valósítják meg a kiváló minőségű vékonyrétegek leválasztását. Ezek a gépek létfontosságú szerepet játszanak az optikai, elektronikus, dekoratív és funkcionális vékonyrétegek előállításában.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2024. július 23.