Pifò eleman chimik yo ka vaporize lè yo konbine yo ak gwoup chimik, pa egzanp Si reyaji ak H pou fòme SiH4, epi Al konbine ak CH3 pou fòme Al(CH3). Nan pwosesis CVD tèmik la, gaz ki anwo yo absòbe yon sèten kantite enèji tèmik pandan y ap pase nan substrat chofe a epi fòme gwoup reyaktif, tankou CH3 ak AL(CH3)2, elatriye. Apre sa, yo konbine youn ak lòt pou fòme gwoup reyaktif yo, ki depoze sou substrat la. Apre sa, yo konbine youn ak lòt epi yo depoze kòm fim mens. Nan ka PECVD, kolizyon elektwon yo, patikil enèjik yo ak molekil faz gaz yo nan plasma a bay enèji aktivasyon ki nesesè pou fòme gwoup chimik reyaktif sa yo.
Avantaj PECVD yo sitou nan aspè sa yo:
(1) Tanperati pwosesis ki pi ba konpare ak depo vapè chimik konvansyonèl la, ki sitou akòz aktivasyon plasma patikil reyaktif yo olye de aktivasyon chofaj konvansyonèl la;
(2) Menm jan ak CVD konvansyonèl la, bon plakaj vlope otou kouch fim nan;
(3) Yo ka kontwole konpozisyon kouch fim nan yon fason abitrè nan yon gwo mezi, sa ki fè li fasil pou jwenn fim miltikouch;
(4) Teknoloji melanj wo/ba frekans ka kontwole estrès fim nan.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 18 avril 2024