Depozisyon dirèk pa gwo bout bwa iyon se yon kalite depozisyon asisté pa gwo bout bwa iyon. Depozisyon dirèk pa gwo bout bwa iyon an se yon depozisyon pa gwo bout bwa iyon ki pa separe pa mas. Yo te itilize teknik sa a pou premye fwa pou pwodui fim kabòn ki sanble ak dyaman an 1971, ki baze sou prensip ke pati prensipal katod ak anod sous iyon an fèt ak kabòn.
Gaz sansib la antre nan chanm dechaj la, epi yo ajoute yon chan mayetik ekstèn pou lakòz yon dechaj plasma anba kondisyon presyon ba, ki baze sou efè pulverizasyon iyon yo sou elektwòd yo pou pwodui iyon kabòn. Iyon kabòn ak iyon dans nan plasma a te antre nan chanm depozisyon an an menm tan, epi yo te akselere pou yo te enjekte sou substrat la akòz presyon negatif sou substrat la.
Rezilta tès yo montre ke iyon kabòn ki gen enèji 50 ~ 100eV nanchanmtanperati, nan Si, NaCI, KCI, Ni ak lòt substrats sou preparasyon fim kabòn transparan ki sanble ak dyaman, rezistivite ki wo tankou 10Q-cm, endis refraksyon apeprè 2, ensolubl nan asid inòganik ak òganik, yo gen yon dite trè wo.
—— Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 31 Out 2023