Ekipman pou kouch vakyòm lan tipikman konpoze de plizyè konpozan kle, chak ak pwòp fonksyon espesifik li, ki travay ansanm pou reyalize yon depo fim efikas ak inifòm. Anba la a se yon deskripsyon konpozan prensipal yo ak fonksyon yo:
Konpozan prensipal yo
Chanm vakyòm:
Fonksyon: Bay yon anviwònman ki gen ba presyon oswa gwo vakyòm pou anpeche materyèl kouch la reyaji avèk enpurte ki nan lè a pandan evaporasyon oswa pulverizasyon, pou asire pite ak kalite fim nan.
Estrikti: Anjeneral, li fèt ak asye pur oswa aliminyòm ki gen gwo rezistans, konsepsyon entèn lan pran an kont distribisyon koule lè a ak fasilite plasman substrat la.
Sistèm ponp vakyòm:
Fonksyon: Itilize pou ponpe gaz ki andedan chanm vakyòm nan pou rive nan nivo vakyòm ki nesesè a.
Kalite: Ki gen ladan ponp mekanik (pa egzanp ponp wotasyon), ponp turbomolekilè, ponp difizyon ak ponp iyon.
Sous evaporasyon oswa sous pulverizasyon:
Fonksyon: chofe epi evapore materyèl kouch la pou fòme yon vapè oswa plasma nan yon vid.
Kalite: ki gen ladan sous chofaj rezistans, sous evaporasyon gwo bout bwa elektwon, sous pulverizasyon mayetron ak sous evaporasyon lazè, elatriye.
Sipò substrat ak mekanis wotasyon:
Fonksyon: Kenbe substra a epi asire depo inifòm materyèl kouch la sou sifas substra a pa wotasyon oswa osilasyon.
KONSTRIKSYON: Tipikman gen ladan kranpon reglabl ak mekanis wotasyon/osile pou akomode substrats ki gen diferan fòm ak gwosè.
Sistèm ekipman pou pouvwa ak kontwòl:
Fonksyon: Bay sous evaporasyon an, sous pulverizasyon an ak lòt ekipman yo kouran, epi li kontwole paramèt pwosesis kouch la an jeneral tankou tanperati, vakyòm ak tan.
Konpozan: Gen ladan yo ekipman pouvwa, panèl kontwòl, sistèm kontwòl enfòmatize, ak detèktè siveyans.
Sistèm Pwovizyon Gaz (pou ekipman kouch pulverizasyon):
Fonksyon: Founi gaz inaktif (pa egzanp, agon) oswa gaz reyaktif (pa egzanp, oksijèn, azòt) pou kenbe yon plasma oswa pou patisipe nan yon reyaksyon chimik pou jenere yon fim mens espesifik.
Konpozan: Gen ladan yo silenn gaz, kontwolè koule, ak tiyo livrezon gaz.
Sistèm Refwadisman:
Fonksyon: refwadi sous evaporasyon an, sous pulverizasyon an ak chanm vakyòm nan pou anpeche surchof.
Kalite: gen ladan sistèm refwadisman dlo ak sistèm refwadisman lè, elatriye.
Sistèm siveyans ak deteksyon:
Fonksyon: Siveyans an tan reyèl paramèt kle nan pwosesis kouch la, tankou epesè fim, vitès depo, vakyòm ak tanperati, pou asire bon jan kalite kouch la.
Kalite: ki gen ladan mikwobalans kristal kwatz, monitè epesè optik ak analizè gaz rezidyèl, elatriye.
Aparèy pwoteksyon:
Fonksyon: Asire sekirite operatè yo ak ekipman yo kont danje ki koze pa tanperati ki wo, vòltaj ki wo oswa anviwònman vakyòm.
Konpozan: Gen ladan gad, bouton pou arè ijans ak blokaj sekirite, elatriye.
Rezime.
Ekipman kouch vakyòm reyalize pwosesis depo fim mens kalite siperyè atravè travay sinèjik konpozan sa yo. Machin sa yo jwe yon wòl vital nan preparasyon fim mens optik, elektwonik, dekoratif ak fonksyonèl.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 23 Jiyè 2024