Theoprema za vakuumsko premazivanjesastoji se od mnogih preciznih dijelova, koji se izrađuju kroz mnoge procese, kao što su zavarivanje, brušenje, tokarenje, blanjanje, bušenje, glodanje i tako dalje. Zbog tih radova, površina dijelova opreme neizbježno će biti kontaminirana nekim zagađivačima kao što su mast, uljna prljavština, metalne strugotine, fluks za zavarivanje, pasta za poliranje, tragovi znoja i tako dalje. Ovi zagađivači lako isparavaju u uvjetima vakuuma, što utječe na konačni vakuum opreme.
Osim toga, ovi vakuumski zagađivači iz mehaničke obrade apsorbiraju veliku količinu plina u okruženju atmosferskog tlaka, a u stanju vakuuma, ovi prethodno adsorbirani plinovi također će se ponovno osloboditi, što postaje glavni faktor koji ograničava granični vakuum. Zbog toga se zagađivači moraju ukloniti prije sastavljanja dijelova stroja za vakuumsko premazivanje.
Tijekom upotrebe vakuumske opreme, njezine komponente također će biti kontaminirane. Međutim, onečišćenje iz ovog izvora uglavnom je uzrokovano uvjetima upotrebe i vakuumskom pumpom.
1. Isparavanje niti vakuumskog mjerača pod uvjetima visoke temperature dovest će do stvaranja filma na keramičkom izolatoru, što će do određene mjere oštetiti njegovu izolacijsku čvrstoću, a također će imati određeni utjecaj na točnost njegovog mjerenja;
2. Zbog isparavanja na visokoj temperaturi, na površini u blizini niti elektronskog topa u vakuumu će se stvoriti metalni film;
3. Zbog raspršivanja obratka, unutarnja stijenka opreme za jetkanje ionskim snopom bit će kontaminirana prskanjem;
4. Unutarnja stijenka opreme za vakuumsko isparavanje bit će kontaminirana materijalom za isparavanje;
5. Često se koristi vakuumski sustav sušenja, a sustav će biti kontaminiran isparanim tvarima;
6. Ulje difuzijske pumpe i ulje mehaničke pumpe u opremi za vakuumsko premazivanje također su glavni izvor onečišćenja. Nakon što stroj za premazivanje radi dulje vrijeme, unutar opreme se može stvoriti uljni film.
Ukratko, vakuumska sanitacija opreme uključuje vakuumsku opremu, vakuumski sustav, vakuumski proces proizvodnje i druge aspekte i poveznice, kao i zahtjeve same opreme za vakuumsko premazivanje i posebnog vakuumskog procesa na uvjete upotrebe. Stoga je vakuumsko onečišćenje problem vrijedan pažnje, jer će to onečišćenje utjecati na performanse opreme, te treba obratiti pozornost na redovito ili povremeno čišćenje.
Vrijeme objave: 21. veljače 2023.