Temperaturni koeficijent otpora metalnog filma varira s debljinom filma, tanki filmovi su negativni, debeli filmovi su pozitivni, a deblji filmovi su slični, ali ne i identični rasutim materijalima. Općenito, temperaturni koeficijent otpora mijenja se od negativnog do pozitivnog kako se debljina filma povećava na desetke nanometara.
Osim toga, brzina isparavanja također utječe na koeficijent otpora metalnih filmova. Niska brzina isparavanja stvara labav film, elektroni prolaze kroz potencijalnu barijeru i sposobnost stvaranja vodljivosti su slabi, što je povezano s oksidacijom i adsorpcijom, pa je vrijednost otpora visoka, a koeficijent otpora temperature mali ili čak negativan. S povećanjem brzine isparavanja, koeficijent otpora temperature otpora se malo mijenja od velikog do pozitivnog. To je zbog niske brzine isparavanja pripremljenog filma zbog oksidacije svojstava poluvodiča, a koeficijent otpora temperature ima negativne vrijednosti. Filmovi pripremljeni visokom brzinom isparavanja obično imaju metalna svojstva i pozitivan koeficijent otpora temperature.
Budući da se struktura filma nepovratno mijenja s temperaturom, otpor i temperaturni koeficijent otpora filma također se mijenjaju s temperaturom sloja premaza tijekom isparavanja, a što je film tanji, to je promjena drastičnija. To se može smatrati rezultatom kemijskih promjena uzrokovanih ponovnim isparavanjem i preraspodjelom čestica filma približne otočne ili tubularne strukture na podlozi, kao i raspršenjem rešetke, raspršenjem nečistoća, raspršenjem defekata rešetke i oksidacijom.
–Ovaj članak objavljujeproizvodnja stroja za vakuumsko premazivanjer Guangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 18. siječnja 2024.