Izravno nanošenje ionskim snopom je vrsta nanošenja potpomognutog ionskim snopom. Izravno nanošenje ionskim snopom je nanošenje ionskim snopom bez razdvajanja mase. Ova tehnika je prvi put korištena za proizvodnju dijamantnih ugljičnih filmova 1971. godine, na temelju principa da je glavni dio katode i anode ionskog izvora izrađen od ugljika.
Osjetljivi plin se dovodi u komoru za pražnjenje, a dodaje se vanjsko magnetsko polje koje uzrokuje plazma pražnjenje pod uvjetima niskog tlaka, oslanjajući se na učinak raspršivanja iona na elektrodama za proizvodnju ugljikovih iona. Ugljikovi ioni i gusti ioni u plazmi istovremeno su inducirani u komoru za taloženje i ubrzani su kako bi se ubrizgali na podlogu zbog negativnog prednaponskog tlaka na podlozi.
Rezultati ispitivanja pokazuju da su ugljikovi ioni s energijom od 50~100eV nasobatemperatura, u Si, NaCl, KCl, Ni i drugim supstratima za pripremu prozirnog dijamantnog ugljičnog filma, otpora do 10 Q-cm, indeksa loma oko 2, netopljivog u anorganskim i organskim kiselinama, ima vrlo visoku tvrdoću.
——Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 31. kolovoza 2023.