Oprema za vakuumsko nanošenje premaza obično se sastoji od nekoliko ključnih komponenti, svaka sa svojom specifičnom funkcijom, koje rade zajedno kako bi se postiglo učinkovito i ujednačeno nanošenje filma. U nastavku slijedi opis glavnih komponenti i njihovih funkcija:
Glavne komponente
Vakuumska komora:
Funkcija: Osigurava okruženje niskog tlaka ili visokog vakuuma kako bi se spriječila reakcija materijala premaza s nečistoćama u zraku tijekom isparavanja ili raspršivanja, osiguravajući čistoću i kvalitetu filma.
Struktura: Obično izrađena od visokočvrstog nehrđajućeg čelika ili aluminija, unutarnji dizajn uzima u obzir raspodjelu protoka zraka i jednostavnost postavljanja podloge.
Sustav vakuumske pumpe:
Funkcija: Koristi se za ispumpavanje plina unutar vakuumske komore kako bi se postigla potrebna razina vakuuma.
Vrste: Uključujući mehaničke pumpe (npr. rotacijske krilne pumpe), turbomolekularne pumpe, difuzijske pumpe i ionske pumpe.
Izvor isparavanja ili izvor raspršivanja:
Funkcija: zagrijava i isparava materijal premaza kako bi se u vakuumu stvorila para ili plazma.
Vrste: uključujući izvor otpornog grijanja, izvor isparavanja elektronskim snopom, izvor magnetronskog raspršivanja i izvor laserskog isparavanja itd.
Držač podloge i rotirajući mehanizam:
Funkcija: Drži podlogu i osigurava ravnomjerno nanošenje premaznog materijala na površinu podloge rotacijom ili oscilacijom.
KONSTRUKCIJA: Obično uključuje podesive stezaljke i rotirajuće/oscilirajuće mehanizme za prilagođavanje podlogama različitih oblika i veličina.
Sustav napajanja i upravljanja:
Funkcija: Osigurava napajanje izvora isparavanja, izvora raspršivanja i ostale opreme te kontrolira parametre cjelokupnog procesa nanošenja premaza kao što su temperatura, vakuum i vrijeme.
Komponente: Uključuje napajanja, upravljačke ploče, računalne upravljačke sustave i nadzorne senzore.
Sustav za dovod plina (za opremu za nanošenje raspršivačem):
Funkcija: Opskrbljuje inertne plinove (npr. argon) ili reaktivne plinove (npr. kisik, dušik) za održavanje plazme ili sudjelovanje u kemijskoj reakciji za stvaranje specifičnog tankog filma.
Komponente: Uključuje plinske boce, regulatore protoka i cijevi za dovod plina.
Sustav hlađenja:
Funkcija: hladi izvor isparavanja, izvor raspršivanja i vakuumsku komoru kako bi se spriječilo pregrijavanje.
Vrste: uključuju sustave hlađenja vodom i sustave hlađenja zrakom itd.
Sustav za praćenje i detekciju:
Funkcija: Praćenje ključnih parametara u procesu nanošenja premaza u stvarnom vremenu, kao što su debljina filma, brzina nanošenja, vakuum i temperatura, kako bi se osigurala kvaliteta premaza.
Vrste: uključujući mikrovagu s kvarcnim kristalima, optički monitor debljine i analizator rezidualnog plina itd.
Zaštitni uređaji:
Funkcija: Osigurava sigurnost operatera i opreme od opasnosti uzrokovanih visokim temperaturama, visokim naponima ili vakuumskim okruženjima.
Komponente: Uključuje štitnike, tipke za zaustavljanje u nuždi i sigurnosne blokade itd.
Rezimirati.
Oprema za vakuumsko nanošenje premaza ostvaruje proces nanošenja visokokvalitetnih tankih filmova sinergijskim radom ovih komponenti. Ovi strojevi igraju vitalnu ulogu u pripremi optičkih, elektroničkih, dekorativnih i funkcionalnih tankih filmova.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 23. srpnja 2024.