प्रत्यक्ष आयन बीम निक्षेपण एक प्रकार का आयन बीम सहायक निक्षेपण है। प्रत्यक्ष आयन बीम निक्षेपण एक गैर-द्रव्यमान-पृथक आयन बीम निक्षेपण है। इस तकनीक का पहली बार 1971 में हीरे जैसी कार्बन फ़िल्म बनाने के लिए इस्तेमाल किया गया था, जो इस सिद्धांत पर आधारित है कि आयन स्रोत के कैथोड और एनोड का मुख्य भाग कार्बन से बना होता है।
संवेदनशील गैस को डिस्चार्ज चैंबर में ले जाया जाता है, और कम दबाव की स्थिति में प्लाज्मा डिस्चार्ज का कारण बनने के लिए एक बाहरी चुंबकीय क्षेत्र जोड़ा जाता है, जो कार्बन आयनों का उत्पादन करने के लिए इलेक्ट्रोड पर आयनों के स्पटरिंग प्रभाव पर निर्भर करता है। प्लाज्मा में कार्बन आयनों और घने आयनों को एक ही समय में जमाव कक्ष में प्रेरित किया गया था, और सब्सट्रेट पर नकारात्मक पूर्वाग्रह दबाव के कारण उन्हें सब्सट्रेट पर इंजेक्ट करने के लिए त्वरित किया गया था।
परीक्षण के परिणाम बताते हैं कि 50~100eV ऊर्जा वाले कार्बन आयनकमरातापमान, Si, NaCI, KCI, Ni और अन्य सब्सट्रेट पर पारदर्शी हीरे जैसी कार्बन फिल्म की तैयारी, 10Q-सेमी जितनी उच्च प्रतिरोधकता, लगभग 2 का अपवर्तक सूचकांक, अकार्बनिक और कार्बनिक एसिड में अघुलनशील, बहुत अधिक कठोरता है।
——यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: अगस्त-31-2023