वैक्यूम कोटिंग उपकरण के घटक

वैक्यूम कोटिंग उपकरण आम तौर पर कई प्रमुख घटकों से बना होता है, जिनमें से प्रत्येक का अपना विशिष्ट कार्य होता है, जो कुशल, समान फिल्म जमाव को प्राप्त करने के लिए मिलकर काम करते हैं। नीचे मुख्य घटकों और उनके कार्यों का विवरण दिया गया है:

मुख्य घटक
वैक्यूम चैंबर:
कार्य: वाष्पीकरण या स्पटरिंग के दौरान कोटिंग सामग्री को वायुजनित अशुद्धियों के साथ प्रतिक्रिया करने से रोकने के लिए कम दबाव या उच्च वैक्यूम वातावरण प्रदान करता है, जिससे फिल्म की शुद्धता और गुणवत्ता सुनिश्चित होती है।
संरचना: आमतौर पर उच्च-शक्ति, स्टेनलेस स्टील या एल्यूमीनियम से निर्मित, आंतरिक डिजाइन में वायु प्रवाह वितरण और सब्सट्रेट प्लेसमेंट की आसानी को ध्यान में रखा जाता है।
वैक्यूम पंप प्रणाली:
कार्य: आवश्यक वैक्यूम स्तर प्राप्त करने के लिए वैक्यूम कक्ष के अंदर गैस को बाहर पंप करने के लिए उपयोग किया जाता है।
प्रकार: इसमें यांत्रिक पंप (जैसे रोटरी वेन पंप), टर्बोमॉलेक्यूलर पंप, प्रसार पंप और आयन पंप शामिल हैं।
वाष्पीकरण स्रोत या स्पटरिंग स्रोत:
कार्य: कोटिंग सामग्री को गर्म करके वाष्पित करता है, जिससे निर्वात में वाष्प या प्लाज्मा बनता है।
प्रकार: जिसमें प्रतिरोध हीटिंग स्रोत, इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण स्रोत, मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग स्रोत और लेजर वाष्पीकरण स्रोत आदि शामिल हैं।
सब्सट्रेट धारक और घूर्णन तंत्र:
कार्य: सब्सट्रेट को पकड़ता है और रोटेशन या दोलन द्वारा सब्सट्रेट की सतह पर कोटिंग सामग्री का एकसमान जमाव सुनिश्चित करता है।
निर्माण: इसमें आमतौर पर विभिन्न आकृतियों और आकारों के सबस्ट्रेट्स को समायोजित करने के लिए समायोज्य क्लैंप और घूर्णन/दोलन तंत्र शामिल होते हैं।
बिजली आपूर्ति और नियंत्रण प्रणाली:
कार्य: वाष्पीकरण स्रोत, स्पटरिंग स्रोत और अन्य उपकरणों को शक्ति प्रदान करता है, और समग्र कोटिंग प्रक्रिया के मापदंडों जैसे तापमान, वैक्यूम और समय को नियंत्रित करता है।
घटक: इसमें विद्युत आपूर्ति, नियंत्रण पैनल, कम्प्यूटरीकृत नियंत्रण प्रणाली और निगरानी सेंसर शामिल हैं।
गैस आपूर्ति प्रणाली (स्पटर कोटिंग उपकरण के लिए):
कार्य: प्लाज्मा को बनाए रखने के लिए या एक विशिष्ट पतली फिल्म उत्पन्न करने के लिए रासायनिक प्रतिक्रिया में भाग लेने के लिए निष्क्रिय गैसों (जैसे, आर्गन) या प्रतिक्रियाशील गैसों (जैसे, ऑक्सीजन, नाइट्रोजन) की आपूर्ति करता है।
घटक: इसमें गैस सिलेंडर, प्रवाह नियंत्रक और गैस वितरण पाइपिंग शामिल हैं।
शीतलन प्रणाली:
कार्य: वाष्पीकरण स्रोत, स्पटरिंग स्रोत और वैक्यूम चैम्बर को ठंडा करता है ताकि अधिक गर्मी से बचा जा सके।
प्रकार: इसमें जल शीतलन प्रणालियाँ और वायु शीतलन प्रणालियाँ आदि शामिल हैं।
निगरानी एवं पता लगाने की प्रणाली:
कार्य: कोटिंग की गुणवत्ता सुनिश्चित करने के लिए कोटिंग प्रक्रिया में प्रमुख मापदंडों, जैसे फिल्म की मोटाई, जमाव दर, वैक्यूम और तापमान की वास्तविक समय निगरानी।
प्रकार: क्वार्ट्ज क्रिस्टल माइक्रोबैलेंस, ऑप्टिकल मोटाई मॉनिटर और अवशिष्ट गैस विश्लेषक आदि शामिल हैं।
सुरक्षात्मक उपकरण:
कार्य: उच्च तापमान, उच्च वोल्टेज या वैक्यूम वातावरण के कारण होने वाले खतरों से ऑपरेटरों और उपकरणों की सुरक्षा सुनिश्चित करता है।
घटक: इसमें गार्ड, आपातकालीन स्टॉप बटन और सुरक्षा इंटरलॉक आदि शामिल हैं।
संक्षेप में बताएं.
वैक्यूम कोटिंग उपकरण इन घटकों के सहक्रियात्मक कार्य के माध्यम से उच्च गुणवत्ता वाली पतली फिल्मों को जमा करने की प्रक्रिया को साकार करता है। ये मशीनें ऑप्टिकल, इलेक्ट्रॉनिक, सजावटी और कार्यात्मक पतली फिल्मों की तैयारी में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती हैं।

-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ