Hoʻokumu ʻia nā mea hana hoʻoheheʻe ʻana i nā ʻāpana koʻikoʻi, kēlā me kēia me kāna hana ponoʻī ponoʻī, e hana pū ana e hoʻokō i ka hoʻopaʻa ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni kūpono. Ma lalo iho nei ka wehewehe ʻana i nā mea nui a me kā lākou mau hana:
Nā mea nui
Keʻena ʻumehana:
Hana: Hāʻawi i kahi wahi haʻahaʻa haʻahaʻa a i ʻole kiʻekiʻe-vacuum e pale aku i ka mea uhi mai ka hana ʻana me nā haumia ea i ka wā o ka evaporation a i ʻole sputtering, e hōʻoia i ka maʻemaʻe a me ka maikaʻi o ke kiʻi.
Hoʻolālā: Hana pinepine ʻia me ka ikaika kiʻekiʻe, ke kila kila a i ʻole ka aluminika, e noʻonoʻo ka hoʻolālā kūloko i ka hāʻawi ʻana i ka ea a me ka maʻalahi o ke kau ʻana o ka substrate.
Pūnaehana hoʻoheheʻe wai:
Hana: Hoʻohana ʻia e puhi i ke kinoea i loko o ke keʻena momi no ka loaʻa ʻana o ka pae haʻahaʻa i makemake ʻia.
Nā ʻano ʻano: Me nā pamu mīkini (e laʻa me nā ʻōpala rotary vane), nā ʻōpala turbomolecular, nā pamu diffusion a me nā pamu ion.
Ke kumu hoʻoheheʻe a i ʻole ke kumu sputtering:
Hana: hoʻomaʻamaʻa a hoʻoheheʻe i ka mea i uhi ʻia e hana i ka mahu a i ʻole ka plasma i loko o kahi ʻōpala.
Nā ʻano: me ke kumu hoʻomehana kū'ē, ke kumu hoʻoheheʻe electron beam, ke kumu hoʻoheheʻe magnetron a me ka puna evaporation laser, etc.
Mea hoʻopaʻa substrate a me ka mīkini hoʻololi:
Hana: Hoʻopaʻa i ka substrate a hōʻoia i ka waiho ʻana like o ka mea uhi ma ka ʻili o ka substrate ma o ka hoʻololi ʻana a i ʻole ka oscillation.
HANA: Hoʻokomo maʻamau i nā mea hoʻopili hiki ke hoʻololi ʻia a me nā ʻenehana hoʻololi/oscillating e hoʻokipa i nā substrate o nā ʻano like ʻole a me nā nui.
Pūnaehana mana a me ka mana:
Hana: Hāʻawi i ka mana i ke kumu hoʻoheheʻe, ke kumu sputtering a me nā mea hana ʻē aʻe, a e hoʻomalu i nā ʻāpana o ke kaʻina hana uhi holoʻokoʻa e like me ka mahana, ka ʻūhā a me ka manawa.
Nā ʻāpana: Loaʻa i nā lako mana, nā panela hoʻokele, nā ʻōnaehana hoʻokele kamepiula, a me nā ʻike nānā.
Pūnaehana hoʻolako kinoea (no nā lako hoʻoheheʻe sputter):
Hana: Hoʻolako i nā kinoea inert (e laʻa, argon) a i ʻole nā kinoea reactive (e laʻa, oxygen, nitrogen) no ka mālama ʻana i ka plasma a i ʻole ke komo ʻana i ka hopena kemika e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi.
Nā ʻāpana: Loaʻa nā pahu hau, nā mea hoʻokele kahe, a me nā paipu hāʻawi kinoea.
Pūnaehana hoʻoluʻu:
Hana: hoʻomaʻalili i ke kumu evaporation, sputtering puna a me ka vacuum keʻena e pale i ka overheating.
Nā ʻano: hoʻokomo i nā ʻōnaehana hoʻoheheʻe wai a me nā ʻōnaehana hoʻoluʻu ea, etc.
Pūnaehana nānā a ʻike:
Hana: Ka nānā ʻana i ka manawa maoli i nā ʻāpana koʻikoʻi i ke kaʻina o ka uhi ʻana, e like me ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni, ka helu deposition, ka māmā a me ka mahana, e hōʻoia i ka maikaʻi o ka uhi.
Nā ʻano: me ka quartz crystal microbalance, ka nānā mānoanoa optical a me ke koena kinoea analyzer, etc.
Nā mea pale:
Hana: E hōʻoia i ka palekana o nā mea hoʻohana a me nā mea hana mai nā pōʻino i hoʻokumu ʻia e nā wela kiʻekiʻe, nā volta kiʻekiʻe a i ʻole nā kaiapuni vacuum.
Nā ʻāpana: Aia nā kiaʻi, nā pihi hoʻomaha pilikia a me nā mea hoʻopaʻa palekana, etc.
Hōʻuluʻulu.
Hoʻomaopopo nā mea hoʻoheheʻe vacuum i ke kaʻina hana o ka waiho ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi kiʻekiʻe ma o ka hana synergistic o kēia mau ʻāpana. He kuleana koʻikoʻi kēia mau mīkini i ka hoʻomākaukau ʻana i nā kiʻi ʻoniʻoni ʻoniʻoni ʻoniʻoni, uila, hoʻonaninani a me ka hana.
-Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini hoʻopaʻa haʻahaʻaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Iulai-23-2024