વેક્યુમ કોટિંગ સાધનો સામાન્ય રીતે ઘણા મુખ્ય ઘટકોથી બનેલા હોય છે, દરેકનું પોતાનું ચોક્કસ કાર્ય હોય છે, જે કાર્યક્ષમ, સમાન ફિલ્મ ડિપોઝિશન પ્રાપ્ત કરવા માટે સાથે મળીને કાર્ય કરે છે. નીચે મુખ્ય ઘટકો અને તેમના કાર્યોનું વર્ણન છે:
મુખ્ય ઘટકો
વેક્યુમ ચેમ્બર:
કાર્ય: બાષ્પીભવન અથવા સ્પટરિંગ દરમિયાન કોટિંગ સામગ્રીને હવામાં ફેલાતી અશુદ્ધિઓ સાથે પ્રતિક્રિયા આપતા અટકાવવા માટે ઓછા દબાણવાળા અથવા ઉચ્ચ-શૂન્યાવકાશ વાતાવરણ પૂરું પાડે છે, જે ફિલ્મની શુદ્ધતા અને ગુણવત્તાને સુનિશ્ચિત કરે છે.
માળખું: સામાન્ય રીતે ઉચ્ચ-શક્તિ, સ્ટેનલેસ સ્ટીલ અથવા એલ્યુમિનિયમથી બનેલું, આંતરિક ડિઝાઇન હવાના પ્રવાહના વિતરણ અને સબસ્ટ્રેટ પ્લેસમેન્ટની સરળતાને ધ્યાનમાં લે છે.
વેક્યુમ પંપ સિસ્ટમ:
કાર્ય: જરૂરી વેક્યુમ સ્તર પ્રાપ્ત કરવા માટે વેક્યુમ ચેમ્બરની અંદર ગેસને બહાર કાઢવા માટે વપરાય છે.
પ્રકારો: યાંત્રિક પંપ (દા.ત. રોટરી વેન પંપ), ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ, પ્રસરણ પંપ અને આયન પંપ સહિત.
બાષ્પીભવન સ્ત્રોત અથવા સ્પટરિંગ સ્ત્રોત:
કાર્ય: કોટિંગ સામગ્રીને ગરમ કરે છે અને બાષ્પીભવન કરીને શૂન્યાવકાશમાં વરાળ અથવા પ્લાઝ્મા બનાવે છે.
પ્રકારો: પ્રતિકાર ગરમી સ્ત્રોત, ઇલેક્ટ્રોન બીમ બાષ્પીભવન સ્ત્રોત, મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ સ્ત્રોત અને લેસર બાષ્પીભવન સ્ત્રોત, વગેરે સહિત.
સબસ્ટ્રેટ ધારક અને ફરતી પદ્ધતિ:
કાર્ય: સબસ્ટ્રેટને પકડી રાખે છે અને પરિભ્રમણ અથવા ઓસિલેશન દ્વારા સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર કોટિંગ સામગ્રીનું એકસમાન નિક્ષેપણ સુનિશ્ચિત કરે છે.
બાંધકામ: સામાન્ય રીતે વિવિધ આકારો અને કદના સબસ્ટ્રેટને સમાવવા માટે એડજસ્ટેબલ ક્લેમ્પ્સ અને ફરતી/ઓસીલેટીંગ મિકેનિઝમ્સનો સમાવેશ થાય છે.
પાવર સપ્લાય અને કંટ્રોલ સિસ્ટમ:
કાર્ય: બાષ્પીભવન સ્ત્રોત, સ્પટરિંગ સ્ત્રોત અને અન્ય ઉપકરણોને શક્તિ પૂરી પાડે છે, અને તાપમાન, શૂન્યાવકાશ અને સમય જેવા એકંદર કોટિંગ પ્રક્રિયાના પરિમાણોને નિયંત્રિત કરે છે.
ઘટકો: પાવર સપ્લાય, કંટ્રોલ પેનલ, કોમ્પ્યુટરાઈઝ્ડ કંટ્રોલ સિસ્ટમ્સ અને મોનિટરિંગ સેન્સર્સનો સમાવેશ થાય છે.
ગેસ સપ્લાય સિસ્ટમ (સ્પટર કોટિંગ સાધનો માટે):
કાર્ય: પ્લાઝ્મા જાળવવા અથવા ચોક્કસ પાતળી ફિલ્મ બનાવવા માટે રાસાયણિક પ્રતિક્રિયામાં ભાગ લેવા માટે નિષ્ક્રિય વાયુઓ (દા.ત., આર્ગોન) અથવા પ્રતિક્રિયાશીલ વાયુઓ (દા.ત., ઓક્સિજન, નાઇટ્રોજન) પૂરા પાડે છે.
ઘટકો: ગેસ સિલિન્ડર, ફ્લો કંટ્રોલર અને ગેસ ડિલિવરી પાઇપિંગનો સમાવેશ થાય છે.
ઠંડક પ્રણાલી:
કાર્ય: બાષ્પીભવન સ્ત્રોત, સ્પુટરિંગ સ્ત્રોત અને વેક્યુમ ચેમ્બરને ઠંડુ કરે છે જેથી ઓવરહિટીંગ અટકાવી શકાય.
પ્રકારો: પાણીની ઠંડક પ્રણાલીઓ અને હવા ઠંડક પ્રણાલીઓ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.
દેખરેખ અને શોધ સિસ્ટમ:
કાર્ય: કોટિંગ પ્રક્રિયામાં મુખ્ય પરિમાણોનું રીઅલ-ટાઇમ મોનિટરિંગ, જેમ કે ફિલ્મની જાડાઈ, ડિપોઝિશન રેટ, વેક્યુમ અને તાપમાન, કોટિંગની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરવા માટે.
પ્રકારો: ક્વાર્ટઝ ક્રિસ્ટલ માઇક્રોબેલેન્સ, ઓપ્ટિકલ જાડાઈ મોનિટર અને શેષ ગેસ વિશ્લેષક વગેરે સહિત.
રક્ષણાત્મક ઉપકરણો:
કાર્ય: ઊંચા તાપમાન, ઉચ્ચ વોલ્ટેજ અથવા શૂન્યાવકાશ વાતાવરણને કારણે થતા જોખમોથી ઓપરેટરો અને સાધનોની સલામતી સુનિશ્ચિત કરે છે.
ઘટકો: ગાર્ડ્સ, ઇમરજન્સી સ્ટોપ બટનો અને સલામતી ઇન્ટરલોક વગેરેનો સમાવેશ થાય છે.
સારાંશ આપો.
વેક્યુમ કોટિંગ સાધનો આ ઘટકોના સિનર્જિસ્ટિક કાર્ય દ્વારા ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી પાતળી ફિલ્મો જમા કરવાની પ્રક્રિયાને સાકાર કરે છે. આ મશીનો ઓપ્ટિકલ, ઇલેક્ટ્રોનિક, સુશોભન અને કાર્યાત્મક પાતળી ફિલ્મોની તૈયારીમાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: જુલાઈ-૨૩-૨૦૨૪