'S e seòrsa de thasgadh le taic bho ghathan ian a th' ann an tasgadh dìreach bho ghathan ian. 'S e tasgadh dìreach bho ghathan ian gun sgaradh mais a th' ann an tasgadh dìreach bho ghathan ian. Chaidh an dòigh seo a chleachdadh an toiseach gus filmichean gualain coltach ri daoimean a dhèanamh ann an 1971, stèidhichte air a' phrionnsabal gu bheil am prìomh phàirt den chatod agus an anod den stòr ian air a dhèanamh de charbon.
Tha an gas mothachail air a stiùireadh a-steach don t-seòmar sgaoilidh, agus tha raon magnetach taobh a-muigh air a chur ris gus sgaoileadh plasma adhbhrachadh fo chumhachan cuideam ìosal, an urra ri buaidh sputtering nan ianan air na electrodan gus ianan gualain a thoirt gu buil. Chaidh ianan gualain agus ianan dùmhail sa phlasma a thoirt a-steach don t-seòmar tasgaidh aig an aon àm, agus chaidh an luathachadh gus an deach an stealladh air an t-substrate air sgàth a’ chuideam claonaidh àicheil air an t-substrate.
Tha toraidhean an deuchainn a’ sealltainn gu bheil na h-ianan gualain le lùth 50 ~ 100 eV aigseòmarteòthachd, ann an Si, NaCI, KCI, Ni agus bun-stuthan eile air ullachadh film gualain follaiseach coltach ri daoimean, strì an aghaidh cho àrd ri 10Q-cm, clàr-amais ath-tharraingeach de mu 2, do-sgaoilte ann an searbhagan neo-organach agus organach, tha cruas glè àrd aca.
——Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 31 Lùnastal 2023