Is féidir an chuid is mó de na dúile ceimiceacha a ghalú trína gcomhcheangal le grúpaí ceimiceacha, m.sh. imoibríonn Si le H chun SiH4 a fhoirmiú, agus comhcheanglaíonn Al le CH3 chun Al(CH3) a fhoirmiú. Sa phróiseas CVD teirmeach, ionsúnn na gáis thuas méid áirithe fuinnimh theirmigh agus iad ag dul tríd an tsubstráit théite agus foirmíonn siad grúpaí imoibríocha, amhail CH3 agus AL(CH3)2, etc. Ansin comhcheanglaíonn siad lena chéile chun na grúpaí imoibríocha a fhoirmiú, a thaisctear ansin ar an tsubstráit. Ina dhiaidh sin, comhcheanglaíonn siad lena chéile agus taisctear iad mar scannáin thanaí. I gcás PECVD, soláthraíonn imbhualadh leictreon, cáithníní fuinniúla agus móilíní céim gháis sa phlasma an fuinneamh gníomhachtaithe atá riachtanach chun na grúpaí ceimiceacha imoibríocha seo a fhoirmiú.
Is iad na príomhghnéithe a bhaineann le PECVD ná na gnéithe seo a leanas:
(1) Teocht phróisis níos ísle i gcomparáid le taisceadh gaile ceimiceach traidisiúnta, rud is cúis den chuid is mó le gníomhachtú plasma cáithníní imoibríocha seachas gníomhachtú téimh traidisiúnta;
(2) Mar an gcéanna le CVD traidisiúnta, plátáil fillte maith ar an tsraith scannáin;
(3) Is féidir comhdhéanamh an chiseal scannáin a rialú go treallach den chuid is mó, rud a fhágann go bhfuil sé éasca scannáin ilchisealacha a fháil;
(4) Is féidir strus scannáin a rialú le teicneolaíocht mheascadh ard/ísealmhinicíochta.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 18 Aibreán 2024