Defakuümcoatingapparatueris gearstald út in protte presys ûnderdielen, dy't makke wurde troch in protte prosessen, lykas lassen, slypjen, draaien, skaven, boarjen, frezen en sa fierder. Fanwegen dizze wurken sil it oerflak fan apparatuerûnderdielen ûnûntkomber fersmoarge wurde mei guon fersmoargjende stoffen lykas fet, oaljefûgel, metaalchips, lasflux, polijstpasta, switflekken en sa fierder. Dizze fersmoargjende stoffen binne maklik te ferdampen ûnder fakuümomstannichheden, en beynfloedet sadwaande it úteinlike fakuüm fan 'e apparatuer.
Derneist nimme dizze fakuümfersmoargjende stoffen fan meganyske ferwurking in grutte hoemannichte gas op yn 'e atmosfearyske drukomjouwing, en yn 'e fakuümtastân sille dizze earder adsorbearre gassen ek wer frijlitten wurde, wat in wichtige faktor wurdt dy't it limytfakuüm beheint. Om dizze reden moatte de fersmoargjende stoffen fuorthelle wurde foardat de ûnderdielen fan 'e fakuümcoatingmasine yninoar set wurde.
Tidens it gebrûk fan fakuümapparatuer sille de ûnderdielen dêrfan ek fersmoarge wurde. De fersmoarging fan dizze boarne wurdt lykwols benammen feroarsake troch de gebrûksomstannichheden en de fakuümpomp.
1. De ferdamping fan 'e gloeidraad fan' e fakuümmeter ûnder hege temperatueromstannichheden sil liede ta de foarming fan in film op 'e keramyske isolator, dy't de isolaasjesterkte oant in beskate mjitte sil beskeadigje, en ek in bepaalde ynfloed sil hawwe op 'e krektens fan syn mjitting;
2. Troch ferdamping by hege temperatuer sil in metaalfilm yn fakuüm foarme wurde op it oerflak tichtby de gloeidraad fan it elektronenkanon;
3. Troch it sputterjen fan it wurkstik sil de binnenwand fan ionenstraal-etsapparatuer fersmoarge wurde troch spatten;
4. De binnenmuorre fan 'e fakuümferdampingscoatingapparatuer sil fersmoarge wurde troch it ferdampingsdoelmateriaal;
5. Fakuümdroegingsysteem wurdt faak brûkt, en it systeem sil fersmoarge wurde troch de ferdampte stoffen;
6. De diffúzjepompoalje en meganyske pompoalje yn 'e fakuümcoatingapparatuer binne ek in wichtige boarne fan fersmoarging. Nei't de coatingmasine lange tiid wurke hat, kin in oaljefilm yn 'e apparatuer foarmje.
Gearfetsjend omfettet de fakuümsanearring fan apparatuer fakuümapparatuer, fakuümsysteem, fakuümprosesproduksje en oare aspekten en ferbiningen, lykas de easken fan 'e fakuümcoatingapparatuer sels en spesjale fakuümprosessen oangeande de gebrûksomstannichheden. Dêrom is fakuümfersmoarging in probleem dat oandacht fertsjinnet, om't dizze fersmoarging de prestaasjes fan 'e apparatuer beynfloedzje sil, en oandacht moat wurde bestege oan regelmjittige of op elk momint skjinmeitsjen.
Pleatsingstiid: 21 febrewaris 2023