Apparatuer foar fakuümcoating bestiet typysk út ferskate wichtige komponinten, elk mei syn eigen spesifike funksje, dy't gearwurkje om effisjinte, unifoarme filmôfsetting te berikken. Hjirûnder is in beskriuwing fan 'e wichtichste komponinten en har funksjes:
Haadkomponinten
Vakuumkeamer:
Funksje: Biedet in omjouwing mei lege druk of hege fakuüm om te foarkommen dat it coatingmateriaal reagearret mei ûnreinheden yn 'e loft tidens ferdamping of sputterjen, wêrtroch't de suverens en kwaliteit fan 'e film garandearre wurdt.
Struktuer: Meastentiids makke fan hege sterkte, roestfrij stiel of aluminium, hâldt it ynterne ûntwerp rekken mei de ferdieling fan 'e luchtstream en it gemak fan it pleatsen fan it substraat.
Vakuümpompsysteem:
Funksje: Brûkt om it gas yn 'e fakuümkeamer út te pompen om it fereaske fakuümnivo te berikken.
Typen: Ynklusyf meganyske pompen (bygelyks rotearjende vinepompen), turbomolekulêre pompen, diffúzjepompen en ionpompen.
Ferdampingsboarne of sputterboarne:
Funksje: ferwaarmet en ferdampt it coatingmateriaal om in damp of plasma te foarmjen yn in fakuüm.
Typen: ynklusyf fersetferwaarmingsboarne, elektronenstrielferdampingsboarne, magnetronsputterboarne en laserferdampingsboarne, ensfh.
Substraathâlder en rotearjend meganisme:
Funksje: Hâldt it substraat fêst en soarget foar in unifoarme ôfsetting fan it coatingmateriaal op it oerflak fan it substraat troch rotaasje of oszillaasje.
KONSTRUKSJE: Omfettet typysk ferstelbere klemmen en rotearjende/oscillearjende meganismen om substraten fan ferskate foarmen en maten te foldwaan.
Stromfoarsjenning en kontrôlesysteem:
Funksje: Leveret stroom oan 'e ferdampingsboarne, sputterboarne en oare apparatuer, en kontrolearret parameters fan it algemiene coatingproses lykas temperatuer, fakuüm en tiid.
Komponinten: Omfettet stroomfoarsjennings, kontrôlepanielen, kompjûterisearre kontrôlesystemen en monitoaringssensors.
Gasfoarsjenningssysteem (foar sputtercoatingapparatuer):
Funksje: Leveret inerte gassen (bygelyks argon) of reaktive gassen (bygelyks soerstof, stikstof) om in plasma te ûnderhâlden of om diel te nimmen oan in gemyske reaksje om in spesifike tinne film te generearjen.
Komponinten: Omfettet gassilinders, streamregelaars en gasleveringsliedingen.
Koelsysteem:
Funksje: koelt de ferdampingsboarne, sputterboarne en fakuümkeamer om oerferhitting te foarkommen.
Typen: omfetsje wetterkoelingssystemen en loftkoelingssystemen, ensfh.
Monitoaring- en deteksjesysteem:
Funksje: Real-time monitoring fan wichtige parameters yn it coatingproses, lykas filmdikte, ôfsettingssnelheid, fakuüm en temperatuer, om de coatingkwaliteit te garandearjen.
Typen: ynklusyf kwartskristallmikrobalâns, optyske diktemonitor en restgasanalysator, ensfh.
Beskermjende apparaten:
Funksje: Soarget foar de feiligens fan operators en apparatuer tsjin gefaren feroarsake troch hege temperatueren, hege spanningen of fakuümomjouwings.
Komponinten: Omfettet befeiligingsmeganismen, needstopknoppen en feilichheidsgrendels, ensfh.
Gearfetsje.
Fakuümcoatingapparatuer realisearret it proses fan it ôfsetten fan tinne films fan hege kwaliteit troch it synergistyske wurk fan dizze komponinten. Dizze masines spylje in essensjele rol yn 'e tarieding fan optyske, elektroanyske, dekorative en funksjonele tinne films.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: 23 july 2024