DESCRIPTION DU PRODUIT

Avantage de l'équipement

1. Optimisation du revêtement des trous profonds

Technologie exclusive de revêtement de trous profonds : la technologie de revêtement de trous profonds développée par Zhenhua Vacuum peut atteindre un rapport hauteur/largeur supérieur de 10:1, même pour de minuscules ouvertures aussi petites que 30 micromètres, surmontant ainsi les défis de revêtement des structures complexes de trous profonds.

2. Personnalisable, prend en charge différentes tailles

Prend en charge les substrats en verre de différentes tailles, y compris les spécifications 600 × 600 mm / 510 × 515 mm ou plus.

3. Flexibilité du processus, compatible avec de multiples matériaux

L'équipement est compatible avec les matériaux à couche mince conducteurs ou fonctionnels tels que Cu, Ti, W, Ni et Pt, répondant aux différents besoins d'application en matière de conductivité et de résistance à la corrosion.

4. Performances stables de l'équipement, entretien facile

L'équipement est équipé d'un système de contrôle intelligent qui permet le réglage automatique des paramètres et la surveillance en temps réel de l'uniformité de l'épaisseur du film ; il adopte une conception modulaire pour une maintenance facile, réduisant les temps d'arrêt.

Application:Peut être utilisé pour les emballages avancés TGV/TSV/TMV, capable d'obtenir un revêtement de couche de semences à trous profonds avec un rapport hauteur/largeur ≥ 10:1.