Leéquipement de revêtement sous videL'équipement est composé de nombreuses pièces de précision, fabriquées par de nombreux procédés tels que le soudage, le meulage, le tournage, le rabotage, l'alésage, le fraisage, etc. Ces opérations entraînent inévitablement la contamination de la surface des pièces par des polluants tels que la graisse, les huiles, les copeaux métalliques, le flux de soudage, la pâte à polir, les traces de sueur, etc. Ces polluants se volatilisent facilement sous vide, affectant ainsi le vide limite de l'équipement.
De plus, ces polluants sous vide issus du traitement mécanique absorbent une grande quantité de gaz à pression atmosphérique. Sous vide, ces gaz précédemment adsorbés sont également libérés, ce qui constitue un facteur majeur de limitation du vide limite. C'est pourquoi les polluants doivent être éliminés avant l'assemblage des pièces de la machine de revêtement sous vide.
Lors de l'utilisation d'un équipement à vide, ses composants sont également contaminés. Cependant, la pollution provient principalement des conditions d'utilisation et de la pompe à vide.
1. L'évaporation du filament de la jauge à vide dans des conditions de température élevée entraînera la formation d'un film sur l'isolant en céramique, ce qui endommagera dans une certaine mesure sa résistance d'isolation et aura également un certain impact sur la précision de sa mesure ;
2. En raison de l'évaporation à haute température, un film métallique se formera sur la surface près du filament du canon à électrons dans le vide ;
3. En raison de la pulvérisation de la pièce, la paroi intérieure de l'équipement de gravure par faisceau ionique sera contaminée par des éclaboussures ;
4. La paroi intérieure de l'équipement de revêtement par évaporation sous vide sera contaminée par son matériau cible d'évaporation ;
5. Le système de séchage sous vide est souvent utilisé et le système sera contaminé par les substances évaporées ;
6. L'huile des pompes à diffusion et des pompes mécaniques des équipements de revêtement sous vide constitue également une source majeure de pollution. Après un fonctionnement prolongé de la machine de revêtement, un film d'huile peut se former à l'intérieur.
En résumé, l'assainissement sous vide des équipements implique l'équipement, le système de vide, le procédé de production sous vide et d'autres aspects, ainsi que les exigences de l'équipement de revêtement sous vide lui-même et du procédé de vide spécifique en fonction des conditions d'utilisation. Par conséquent, la pollution par le vide est un problème qui mérite d'être pris en compte, car elle affecte les performances de l'équipement. Un nettoyage régulier ou régulier est donc nécessaire.
Date de publication : 21 février 2023