Thetyhjiöpinnoituslaitteetkoostuu monista tarkoista osista, jotka valmistetaan useilla prosesseilla, kuten hitsaamalla, hiomalla, sorvaamalla, höylämällä, poraamalla, jyrsimällä ja niin edelleen. Näiden töiden vuoksi laitteiden osien pinta saastuu väistämättä joillakin epäpuhtauksilla, kuten rasvalla, öljylialla, metallilastuilla, hitsausfluksilla, kiillotustahnalla, hikijäljillä ja niin edelleen. Nämä epäpuhtaudet haihtuvat helposti tyhjiöolosuhteissa, mikä vaikuttaa laitteen lopulliseen tyhjiöön.
Lisäksi nämä mekaanisen prosessoinnin tyhjiösaasteet imevät suuren määrän kaasua ilmakehän paineympäristössä, ja tyhjiössä nämä aiemmin adsorboituneet kaasut vapautuvat myös uudelleen, mikä on merkittävä tekijä, joka rajoittaa tyhjiön raja-arvoa. Tästä syystä epäpuhtaudet on poistettava ennen tyhjiöpinnoituskoneen osien kokoamista.
Tyhjiölaitteiden käytön aikana myös niiden komponentit saastuvat. Tästä lähteestä tuleva saaste johtuu kuitenkin pääasiassa käyttöolosuhteista ja tyhjiöpumpusta.
1. Tyhjiömittarin hehkulangan haihtuminen korkeissa lämpötiloissa johtaa kalvon muodostumiseen keraamiseen eristeeseen, mikä vahingoittaa sen eristyslujuutta jossain määrin ja vaikuttaa myös tiettyyn mittaustarkkuuteen;
2. Korkeassa lämpötilassa tapahtuvan haihtumisen vuoksi elektronitykin hehkulangan lähelle pinnalle tyhjiössä muodostuu metallikalvo;
3. Työkappaleen roiskumisen vuoksi ionisuihkuetsauslaitteiden sisäseinä saastuu roiskeista;
4. Tyhjiöhaihdutuspäällystyslaitteen sisäseinä saastuu sen haihdutuskohdemateriaalista;
5. Tyhjiökuivausjärjestelmää käytetään usein, ja haihtuneet aineet saastuttavat järjestelmän;
6. Tyhjiöpinnoituslaitteiston diffuusiopumppuöljy ja mekaanisen pumpun öljy ovat myös merkittävä saastumisen lähde. Pitkän käyttöiän jälkeen laitteiston sisälle voi muodostua öljykalvo.
Yhteenvetona voidaan todeta, että laitteiden tyhjiöpuhdistus käsittää tyhjiölaitteet, tyhjiöjärjestelmän, tyhjiöprosessin tuotannon ja muut näkökohdat ja linkit sekä itse tyhjiöpinnoituslaitteen ja erityisen tyhjiöprosessin vaatimukset käyttöolosuhteille. Siksi tyhjiösaaste on huomionarvoinen ongelma, koska se vaikuttaa laitteiden suorituskykyyn, ja säännölliseen tai aina tapahtuvaan puhdistukseen on kiinnitettävä huomiota.
Julkaisun aika: 21. helmikuuta 2023