Suora ionisuihkukasvatus on ionisuihkuavusteisen kasvatetuksen tyyppi. Suora ionisuihkukasvatus on massaerottumaton ionisuihkukasvatus. Tätä tekniikkaa käytettiin ensimmäisen kerran timantin kaltaisten hiilikalvojen tuottamiseen vuonna 1971 periaatteen mukaisesti, että ionilähteen katodin ja anodin pääosa on valmistettu hiilestä.
Aistittava kaasu johdetaan purkauskammioon ja siihen lisätään ulkoinen magneettikenttä, joka aiheuttaa plasmapurkauksen matalapaineolosuhteissa. Tämä perustuu ionien sputterointivaikutukseen elektrodeilla hiiliionien tuottamiseksi. Hiili-ionit ja plasman tiheät ionit indusoitiin samanaikaisesti laskeumakammioon ja niitä kiihdytettiin injektoitaviksi substraatille substraattiin kohdistuvan negatiivisen esipaineen ansiosta.
Testitulokset osoittavat, että hiiliionit, joiden energia on 50–100 eV lämpötilassahuonelämpötila, Si, NaCI, KCI, Ni ja muut alustat läpinäkyvän timantin kaltaisen hiilikalvon valmistuksessa, resistiivisyys jopa 10Q-cm, taitekerroin noin 2, liukenematon epäorgaanisiin ja orgaanisiin happoihin, on erittäin korkea kovuus.
——Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 31. elokuuta 2023