Tyhjiöpinnoituslaitteet koostuvat tyypillisesti useista keskeisistä osista, joilla kullakin on oma erityinen tehtävänsä ja jotka toimivat yhdessä tehokkaan ja tasaisen kalvonmuodostuksen saavuttamiseksi. Alla on kuvaus tärkeimmistä osista ja niiden toiminnoista:
Pääkomponentit
Tyhjiökammio:
Toiminto: Tarjoaa matalapaineisen tai korkean tyhjiön ympäristön estääkseen pinnoitemateriaalin reagoinnin ilmassa olevien epäpuhtauksien kanssa haihtumisen tai sputteroinnin aikana, varmistaen kalvon puhtauden ja laadun.
Rakenne: Yleensä valmistettu erittäin lujasta ruostumattomasta teräksestä tai alumiinista, ja sisäinen suunnittelu ottaa huomioon ilmavirran jakautumisen ja alustan helpon sijoittelun.
Tyhjiöpumppujärjestelmä:
Toiminto: Käytetään kaasun pumppaamiseen tyhjiökammiosta halutun tyhjiötason saavuttamiseksi.
Tyypit: Sisältää mekaaniset pumput (esim. kiertosiipipumput), turbomolekyylipumput, diffuusiopumput ja ionipumput.
Höyrystyslähde tai sputterointilähde:
Toiminto: lämmittää ja höyrystää pinnoitemateriaalia höyryn tai plasman muodostamiseksi tyhjiössä.
Tyypit: mukaan lukien vastuslämmityslähde, elektronisuihkuhöyrystyslähde, magnetronisputterointilähde ja laserhöyrystyslähde jne.
Alustan pidike ja pyörivä mekanismi:
Toiminto: Pitää alustaa paikallaan ja varmistaa pinnoitemateriaalin tasaisen kerrostumisen alustan pinnalle pyörimisen tai värähtelyn avulla.
RAKENNE: Sisältää tyypillisesti säädettävät puristimet ja pyörivät/värähtelevät mekanismit erimuotoisten ja -kokoisten alustojen käsittelyyn.
Virtalähde ja ohjausjärjestelmä:
Toiminto: Tarjoaa virtaa haihdutuslähteelle, sputterointilähteelle ja muille laitteille sekä ohjaa koko pinnoitusprosessin parametreja, kuten lämpötilaa, alipainetta ja aikaa.
Komponentit: Sisältää virtalähteet, ohjauspaneelit, tietokoneohjatut ohjausjärjestelmät ja valvonta-anturit.
Kaasunsyöttöjärjestelmä (ruiskutusmaalauslaitteille):
Toiminto: Toimittaa inerttejä kaasuja (esim. argonia) tai reaktiivisia kaasuja (esim. happea, typpeä) plasman ylläpitämiseksi tai osallistumiseksi kemialliseen reaktioon tietyn ohuen kalvon muodostamiseksi.
Komponentit: Sisältää kaasupullot, virtaussäätimet ja kaasun syöttöputkiston.
Jäähdytysjärjestelmä:
Toiminto: jäähdyttää haihdutuslähdettä, sputterointilähdettä ja tyhjiökammiota ylikuumenemisen estämiseksi.
Tyypit: sisältävät vesijäähdytysjärjestelmät ja ilmajäähdytysjärjestelmät jne.
Valvonta- ja havaitsemisjärjestelmä:
Toiminto: Päällystysprosessin keskeisten parametrien, kuten kalvonpaksuuden, laskeutumisnopeuden, alipaineen ja lämpötilan, reaaliaikainen seuranta pinnoitteen laadun varmistamiseksi.
Tyypit: mukaan lukien kvartsikidemikrovaaka, optinen paksuusmittari ja jäännöskaasuanalysaattori jne.
Suojalaitteet:
Toiminto: Varmistaa käyttäjien ja laitteiden turvallisuuden korkeiden lämpötilojen, korkeajännitteiden tai tyhjiöympäristöjen aiheuttamilta vaaroilta.
Komponentit: Sisältää suojukset, hätäpysäytyspainikkeet ja turvalukot jne.
Yhteenveto.
Tyhjiöpäällystyslaitteet mahdollistavat korkealaatuisten ohutkalvojen kerrostamisen näiden komponenttien synergistisen toiminnan avulla. Näillä koneilla on tärkeä rooli optisten, elektronisten, koristeellisten ja toiminnallisten ohutkalvojen valmistuksessa.
–Tämä artikkeli on julkaistutyhjiöpinnoituskoneiden valmistajaGuangdong Zhenhua
Julkaisun aika: 23.7.2024