تجهیزات پوششدهی در خلاءاز قطعات دقیق زیادی تشکیل شده است که از طریق فرآیندهای زیادی مانند جوشکاری، سنگ زنی، تراشکاری، رنده کاری، سوراخکاری، فرزکاری و غیره ساخته میشوند. به دلیل این کارها، سطح قطعات تجهیزات به ناچار با برخی آلایندهها مانند گریس، خاک روغن، برادههای فلزی، روان کننده جوشکاری، خمیر پولیش، رد عرق و غیره آلوده میشود. این آلایندهها به راحتی در شرایط خلاء تبخیر میشوند و بنابراین بر خلاء نهایی تجهیزات تأثیر میگذارند.
علاوه بر این، این آلایندههای خلاء ناشی از پردازش مکانیکی، مقدار زیادی گاز را در محیط فشار اتمسفر جذب میکنند و در حالت خلاء، این گازهای قبلاً جذب شده نیز دوباره آزاد میشوند و به عامل اصلی محدود کننده خلاء محدود تبدیل میشوند. به همین دلیل، آلایندهها باید قبل از مونتاژ قطعات دستگاه پوشش خلاء حذف شوند.
در طول استفاده از تجهیزات خلاء، اجزای آن نیز آلوده میشوند. با این حال، آلودگی ناشی از این منبع عمدتاً ناشی از شرایط استفاده و پمپ خلاء است.
۱. تبخیر رشتهی گیج خلاء در شرایط دمای بالا منجر به تشکیل لایهای روی عایق سرامیکی میشود که تا حدودی به استحکام عایق آن آسیب میرساند و همچنین تأثیر خاصی بر دقت اندازهگیری آن خواهد داشت.
۲. به دلیل تبخیر در دمای بالا، یک لایه فلزی روی سطح نزدیک به رشته تفنگ الکترونی در خلاء تشکیل میشود؛
۳. به دلیل پاشش قطعه کار، دیواره داخلی تجهیزات حکاکی با پرتو یونی توسط پاششها آلوده میشود.
۴. دیواره داخلی تجهیزات پوششدهی تبخیر در خلاء توسط ماده هدف تبخیر آلوده خواهد شد.
۵. اغلب از سیستم خشک کردن تحت خلاء استفاده میشود و سیستم توسط مواد تبخیر شده آلوده خواهد شد.
۶. روغن پمپ پخش و روغن پمپ مکانیکی در تجهیزات پوششدهی تحت خلاء نیز منبع اصلی آلودگی هستند. پس از اینکه دستگاه پوششدهی برای مدت طولانی کار کرد، ممکن است یک لایه روغن درون تجهیزات تشکیل شود.
به طور خلاصه، پاکسازی خلاء تجهیزات شامل تجهیزات خلاء، سیستم خلاء، تولید فرآیند خلاء و سایر جنبهها و پیوندها، و همچنین الزامات خود تجهیزات پوشش خلاء و فرآیند خلاء ویژه در شرایط استفاده است. بنابراین، آلودگی خلاء مشکلی است که باید مورد توجه قرار گیرد، زیرا این آلودگیها بر عملکرد تجهیزات تأثیر میگذارند و باید به تمیز کردن منظم یا در هر زمانی توجه شود.
زمان ارسال: ۲۱ فوریه ۲۰۲۳