ضریب دمایی مقاومت فیلم فلزی با ضخامت فیلم تغییر میکند، فیلمهای نازک منفی، فیلمهای ضخیم مثبت و فیلمهای ضخیمتر مشابه مواد حجیم هستند اما یکسان نیستند. به طور کلی، ضریب دمایی مقاومت با افزایش ضخامت فیلم به دهها نانومتر از منفی به مثبت تغییر میکند.
علاوه بر این، نرخ تبخیر بر ضریب دمای مقاومتی فیلمهای فلزی نیز تأثیر میگذارد. نرخ تبخیر پایین لایه فیلم تهیه شده، سست است، الکترونها از سد پتانسیل آن عبور میکنند و توانایی تولید رسانایی ضعیف است، همراه با اکسیداسیون و جذب، بنابراین مقدار مقاومت بالا است، ضریب دمای مقاومت کوچک یا حتی منفی است، با افزایش نرخ تبخیر، ضریب دمای مقاومت از مقدار کوچک از بزرگ، از منفی به مثبت تغییر میکند. این به دلیل نرخ تبخیر پایین فیلم تهیه شده به دلیل اکسیداسیون خواص نیمههادی است، ضریب دمای مقاومت مقادیر منفی دارد. فیلمهای تهیه شده با نرخ تبخیر بالا تمایل به داشتن خواص فلزی دارند و ضریب دمای مقاومت مثبت دارند.
از آنجایی که ساختار فیلم به طور برگشتناپذیری با دما تغییر میکند، مقاومت و ضریب دمایی مقاومت فیلم نیز با دمای لایه پوشش در طول تبخیر تغییر میکند و هرچه فیلم نازکتر باشد، این تغییر شدیدتر است. این را میتوان نتیجه تغییرات شیمیایی ناشی از تبخیر مجدد و توزیع مجدد ذرات فیلم با ساختار تقریبی جزیرهای یا لولهای روی زیرلایه و همچنین پراکندگی شبکهای، پراکندگی ناخالصی، پراکندگی نقصهای شبکهای و اکسیداسیون دانست.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۱۸ ژانویه ۲۰۲۴