تجهیزات پوششدهی در خلاء معمولاً از چندین جزء کلیدی تشکیل شدهاند که هر کدام عملکرد خاص خود را دارند و به طور هماهنگ برای دستیابی به رسوب فیلم یکنواخت و کارآمد کار میکنند. در زیر شرحی از اجزای اصلی و عملکرد آنها آمده است:
اجزای اصلی
محفظه خلاء:
عملکرد: محیطی با فشار کم یا خلاء بالا فراهم میکند تا از واکنش مواد پوششدهنده با ناخالصیهای موجود در هوا در حین تبخیر یا پاشش جلوگیری کند و خلوص و کیفیت فیلم را تضمین کند.
ساختار: معمولاً از فولاد ضد زنگ یا آلومینیوم با استحکام بالا ساخته میشود و طراحی داخلی آن توزیع جریان هوا و سهولت قرارگیری بستر را در نظر میگیرد.
سیستم پمپ خلاء:
عملکرد: برای پمپاژ گاز داخل محفظه خلاء جهت دستیابی به سطح خلاء مورد نیاز استفاده میشود.
انواع: شامل پمپهای مکانیکی (مثلاً پمپهای پرهدار چرخشی)، پمپهای توربومولکولی، پمپهای انتشار و پمپهای یونی.
منبع تبخیر یا منبع کندوپاش:
عملکرد: ماده پوشش را گرم و تبخیر میکند تا در خلاء بخار یا پلاسما تشکیل شود.
انواع: شامل منبع گرمایش مقاومتی، منبع تبخیر پرتو الکترونی، منبع کندوپاش مگنترون و منبع تبخیر لیزری و غیره
نگهدارنده بستر و مکانیزم چرخشی:
عملکرد: زیرلایه را نگه میدارد و با چرخش یا نوسان، رسوب یکنواخت ماده پوشش را روی سطح زیرلایه تضمین میکند.
ساختار: معمولاً شامل گیرههای قابل تنظیم و مکانیزمهای چرخشی/نوسانی برای تطبیق با زیرلایههایی با اشکال و اندازههای مختلف است.
سیستم تغذیه و کنترل:
عملکرد: برق مورد نیاز منبع تبخیر، منبع پاشش و سایر تجهیزات را تأمین میکند و پارامترهای فرآیند کلی پوششدهی مانند دما، خلاء و زمان را کنترل میکند.
اجزا: شامل منابع تغذیه، پنلهای کنترل، سیستمهای کنترل کامپیوتری و حسگرهای نظارتی.
سیستم تامین گاز (برای تجهیزات پوششدهی اسپاتر):
عملکرد: گازهای بیاثر (مثلاً آرگون) یا گازهای واکنشپذیر (مثلاً اکسیژن، نیتروژن) را برای حفظ پلاسما یا شرکت در یک واکنش شیمیایی برای تولید یک لایه نازک خاص تأمین میکند.
اجزا: شامل سیلندرهای گاز، کنترلکنندههای جریان و لولههای انتقال گاز.
سیستم خنک کننده:
عملکرد: منبع تبخیر، منبع پاشش و محفظه خلاء را خنک میکند تا از گرم شدن بیش از حد جلوگیری شود.
انواع: شامل سیستمهای خنککننده آب و سیستمهای خنککننده هوا و غیره.
سیستم نظارت و تشخیص:
عملکرد: نظارت بر پارامترهای کلیدی در فرآیند پوششدهی، مانند ضخامت لایه نازک، سرعت رسوب، خلاء و دما، به صورت بلادرنگ برای اطمینان از کیفیت پوشش.
انواع: شامل میکروترازوی کریستال کوارتز، مانیتور ضخامت نوری و آنالایزر گاز باقیمانده و غیره
وسایل حفاظتی:
عملکرد: ایمنی اپراتورها و تجهیزات را در برابر خطرات ناشی از دمای بالا، ولتاژ بالا یا محیطهای خلاء تضمین میکند.
اجزا: شامل محافظها، دکمههای توقف اضطراری و قفلهای ایمنی و غیره.
خلاصه کنید.
تجهیزات لایه نشانی در خلاء، فرآیند لایه نشانی لایههای نازک با کیفیت بالا را از طریق همکاری این اجزا محقق میکنند. این دستگاهها نقش حیاتی در تهیه لایههای نازک نوری، الکترونیکی، تزئینی و کاربردی دارند.
–این مقاله توسط منتشر شده استتولید کننده دستگاه پوشش دهی در خلاءگوانگدونگ ژنهوا
زمان ارسال: ۲۳ ژوئیه ۲۰۲۴