Ioi-sorta bidezko zuzeneko deposizioa ioi-sorta bidezko deposizio mota bat da. Ioi-sorta bidezko zuzeneko deposizioa masa bereizi gabeko ioi-sorta bidezko deposizioa da. Teknika hau lehen aldiz diamante itxurako karbono-filmak ekoizteko erabili zen 1971n, ioi-iturriaren katodoaren eta anodoaren zati nagusia karbonoz eginda dagoelako printzipioan oinarrituta.
Gas sentikorra deskarga-ganberara eramaten da, eta kanpoko eremu magnetiko bat gehitzen zaio presio baxuko baldintzetan plasma deskarga bat eragiteko, ioien elektrodoetan dagoen sputtering efektuan oinarrituta karbono ioiak sortzeko. Plasmako karbono ioiak eta ioi trinkoak aldi berean deposizio-ganberara induzitu ziren, eta substratuan injektatzeko azeleratu ziren substratuan zegoen presio negatiboaren ondorioz.
Proben emaitzek erakusten dute 50~100eV-ko energia duten karbono ioiekgelatenperatura, Si, NaCl, KCI, Ni eta beste substratu batzuetan diamante itxurako karbono-film gardena prestatzean, 10Q-cm-ko erresistentzia, 2 inguruko errefrakzio-indizea, azido ez-organiko eta organikoetan disolbaezinak, gogortasun oso handia dute.
——Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2023ko abuztuaren 31a