Hutsean estaltzeko ekipoak normalean hainbat osagai nagusik osatzen dute, bakoitza bere funtzio espezifikoarekin, eta elkarrekin lan egiten dute film-deposizio eraginkor eta uniformea lortzeko. Jarraian, osagai nagusien eta haien funtzioen deskribapena aurkituko duzu:
Osagai nagusiak
Hutseko ganbera:
Funtzioa: Presio baxuko edo hutsune handiko ingurunea eskaintzen du estaldura-materialak lurruntzean edo sputtering-ean aireko ezpurutasunekin erreakzionatzea saihesteko, filmaren purutasuna eta kalitatea bermatuz.
Egitura: Normalean erresistentzia handiko altzairu herdoilgaitzez edo aluminioz egina, barne-diseinuak aire-fluxuaren banaketa eta substratua jartzeko erraztasuna hartzen ditu kontuan.
Hutsean ponpa sistema:
Funtzioa: Hutsean dagoen gasa ponpatzeko erabiltzen da, behar den hutsune-maila lortzeko.
Motak: Ponpa mekanikoak (adibidez, paleta birakariko ponpak), ponpa turbomolekulak, difusio-ponpak eta ioi-ponpak barne.
Lurruntze-iturria edo ihinztadura-iturria:
Funtzioa: estaldura-materiala berotu eta lurrundu egiten du hutsean lurruna edo plasma bat sortzeko.
Motak: erresistentzia bidezko berogailu iturria, elektroi-izpien lurruntze iturria, magnetron bidezko sputtering iturria eta laser bidezko lurruntze iturria barne, etab.
Substratuaren euskarria eta biraketa-mekanismoa:
Funtzioa: Substratua eusten du eta estaldura-materiala substratuaren gainazalean biraketa edo oszilazio bidez uniformeki metatzen dela ziurtatzen du.
ERAIKUNTZA: Normalean, forma eta tamaina desberdinetako substratuak egokitzeko erregulagarriak diren grapak eta biraketa/oszilazio mekanismoak ditu.
Energia hornidura eta kontrol sistema:
Funtzioa: Lurruntze-iturriari, ihinztadura-iturriari eta beste ekipamendu batzuei energia ematen die, eta estaldura-prozesu osoaren parametroak kontrolatzen ditu, hala nola tenperatura, hutsunea eta denbora.
Osagaiak: Elikatze-iturriak, kontrol-panelak, kontrol-sistema informatizatuak eta monitorizazio-sentsoreak barne hartzen ditu.
Gas Hornikuntza Sistema (ihinztadura bidezko estaldura ekipoetarako):
Funtzioa: Gas geldoak (adibidez, argona) edo gas erreaktiboak (adibidez, oxigenoa, nitrogenoa) hornitzen ditu plasma bat mantentzeko edo erreakzio kimiko batean parte hartzeko film mehe espezifiko bat sortzeko.
Osagaiak: Gas zilindroak, emari-kontrolagailuak eta gasa banatzeko hodiak barne hartzen ditu.
Hozte-sistema:
Funtzioa: lurruntze-iturria, ihinztadura-iturria eta huts-ganbera hozten ditu gehiegi berotzea saihesteko.
Motak: ur bidezko hozte-sistemak eta aire bidezko hozte-sistemak barne hartzen dituzte, etab.
Jarraipen eta detekzio sistema:
Funtzioa: Estaldura-prozesuko parametro gakoen denbora errealeko monitorizazioa, hala nola filmaren lodiera, deposizio-tasa, hutsunea eta tenperatura, estalduraren kalitatea bermatzeko.
Motak: kuartzo kristalezko mikrobalantza, lodiera optikoaren monitore eta hondar-gasen analizatzailea barne, etab.
Babes-gailuak:
Funtzioa: Operadoreen eta ekipamenduen segurtasuna bermatzen du tenperatura altuek, tentsio altuek edo hutseko inguruneek eragindako arriskuetatik.
Osagaiak: Babesak, larrialdietako gelditzeko botoiak eta segurtasun-blokeoak, etab. barne hartzen ditu.
Laburbildu.
Hutsean estaltzeko ekipoek kalitate handiko film meheak metatzeko prozesua gauzatzen dute osagai hauen lan sinergikoaren bidez. Makina hauek funtsezko zeregina dute film optiko, elektroniko, apaingarri eta funtzionalen prestaketan.
–Artikulu hau argitaratu duhutsean estaltzeko makina fabrikatzaileaGuangdong Zhenhua
Argitaratze data: 2024ko uztailak 23