Metallkile takistustemperatuuri koefitsient varieerub kile paksusega: õhukesed kiled on negatiivsed, paksud kiled positiivsed ja paksemad kiled on sarnased, kuid mitte identsed lahtiste materjalidega. Üldiselt muutub takistustemperatuuri koefitsient negatiivsest positiivseks, kui kile paksus suureneb kümnete nanomeetriteni.
Lisaks mõjutab aurustumiskiirus ka metallkilede takistustemperatuuri koefitsienti. Madala aurustumiskiirusega valmistatud kilekiht on lõdvenenud, elektronid ületavad potentsiaalibarjääri ja juhtivus on nõrk, millega kaasneb oksüdeerumine ja adsorptsioon. Seega on takistuse väärtus kõrge ja takistustemperatuuri koefitsient väike või isegi negatiivne. Aurustumiskiiruse suurenedes muutub takistuse takistustemperatuuri koefitsient väikesest suurest negatiivsest positiivseks. See on tingitud valmistatud kile madalast aurustumiskiirusest, mis on tingitud pooljuhtide omaduste oksüdeerumisest ja takistustemperatuuri koefitsiendi negatiivsetest väärtustest. Suure aurustumiskiirusega valmistatud kiledel on tavaliselt metallilised omadused ja positiivne takistustemperatuuri koefitsient.
Kuna kile struktuur muutub temperatuuriga pöördumatult, muutuvad aurustumise ajal ka kile takistus ja takistustemperatuuritegur koos kattekihi temperatuuriga ning mida õhem on kile, seda drastilisem on muutus. Seda võib pidada keemiliste muutuste tagajärjeks, mis on põhjustatud ligikaudse saare- või torukujulise struktuuriga kile osakeste uuesti aurustumisest ja ümberjaotumisest aluspinnal, samuti võrehajumisest, lisandite hajumisest, võredefektide hajumisest ja oksüdeerumisest.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasina tootminer Guangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 18. jaanuar 2024