Vaakumkatmisseadmed koosnevad tavaliselt mitmest põhikomponendist, millel igaühel on oma kindel funktsioon ja mis toimivad kooskõlastatult, et saavutada tõhus ja ühtlane kile sadestamine. Allpool on kirjeldatud peamisi komponente ja nende funktsioone:
Peamised komponendid
Vaakumkamber:
Funktsioon: Pakub madalrõhu või kõrgvaakumkeskkonda, et vältida kattematerjali reageerimist õhus levivate lisanditega aurustamise või pihustamise ajal, tagades kile puhtuse ja kvaliteedi.
Konstruktsioon: Tavaliselt valmistatud ülitugevast roostevabast terasest või alumiiniumist, sisemine konstruktsioon võtab arvesse õhuvoolu jaotust ja aluspinna paigutamise lihtsust.
Vaakumpumba süsteem:
Funktsioon: Kasutatakse gaasi väljapumpamiseks vaakumkambris, et saavutada vajalik vaakumtase.
Tüübid: Sealhulgas mehaanilised pumbad (nt pöördlabapumbad), turbomolekulaarsed pumbad, difusioonpumbad ja ioonpumbad.
Aurustusallikas või pritsimisallikas:
Funktsioon: kuumutab ja aurustab kattematerjali, moodustades vaakumis auru või plasma.
Tüübid: sealhulgas takistuskütteallikas, elektronkiire aurustusallikas, magnetroni pihustamisallikas ja laseraurustusallikas jne.
Substraadi hoidik ja pöörlev mehhanism:
Funktsioon: Hoiab aluspinda paigal ja tagab kattematerjali ühtlase sadestumise aluspinnale pöörlemise või võnkumise abil.
KONSTRUKTSIOON: Tavaliselt sisaldab see reguleeritavaid klambreid ja pöörlevaid/võnkuvaid mehhanisme erineva kuju ja suurusega aluspindade mahutamiseks.
Toiteallikas ja juhtimissüsteem:
Funktsioon: Varustab aurustusallikat, pihustamisallikat ja muid seadmeid ning juhib kogu katmisprotsessi parameetreid, nagu temperatuur, vaakum ja aeg.
Komponendid: Sisaldab toiteallikaid, juhtpaneele, arvutipõhiseid juhtimissüsteeme ja jälgimisandureid.
Gaasivarustussüsteem (pihustuskatte seadmete jaoks):
Funktsioon: Varustab inertgaase (nt argoon) või reaktiivseid gaase (nt hapnik, lämmastik) plasma säilitamiseks või keemilises reaktsioonis osalemiseks spetsiifilise õhukese kile tekitamiseks.
Komponendid: Sisaldab gaasiballoone, vooluregulaatoreid ja gaasitorusid.
Jahutussüsteem:
Funktsioon: jahutab aurustusallikat, pritsimisallikat ja vaakumkambrit ülekuumenemise vältimiseks.
Tüübid: hõlmavad veejahutussüsteeme ja õhkjahutussüsteeme jne.
Jälgimis- ja tuvastussüsteem:
Funktsioon: Katteprotsessi põhiparameetrite, näiteks kile paksuse, sadestumiskiiruse, vaakumi ja temperatuuri reaalajas jälgimine katte kvaliteedi tagamiseks.
Tüübid: sealhulgas kvartskristallmikrokaal, optiline paksuse monitor ja jääkgaasi analüsaator jne.
Kaitseseadmed:
Funktsioon: Tagab operaatorite ja seadmete ohutuse kõrge temperatuuri, kõrgepinge või vaakumkeskkonna põhjustatud ohtude eest.
Komponendid: Sisaldab kaitsepiirdeid, avariipeatusnuppe ja ohutusblokeeringuid jne.
Kokkuvõte.
Vaakumkatmisseadmed teostavad kvaliteetsete õhukeste kilede sadestamise protsessi nende komponentide sünergilise töö kaudu. Need masinad mängivad olulist rolli optiliste, elektrooniliste, dekoratiivsete ja funktsionaalsete õhukeste kilede valmistamisel.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 23. juuli 2024