Recubrimiento de orificio pasante de vidrio TGV en línea
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DESCRIPCIÓN DEL PRODUCTO
Ventaja de equipo
1. Optimización del recubrimiento de agujeros profundos
Tecnología exclusiva de recubrimiento de agujeros profundos: la tecnología de recubrimiento de agujeros profundos desarrollada por Zhenhua Vacuum puede lograr una relación de aspecto superior de 10:1 incluso para aberturas diminutas de hasta 30 micrómetros, superando los desafíos de recubrimiento de estructuras complejas de agujeros profundos.
2. Personalizable, admite diferentes tamaños.
Admite sustratos de vidrio de varios tamaños, incluidas especificaciones de 600 × 600 mm / 510 × 515 mm o mayores.
3. Flexibilidad del proceso, compatible con múltiples materiales
El equipo es compatible con materiales de película delgada conductores o funcionales como Cu, Ti, W, Ni y Pt, satisfaciendo diferentes necesidades de aplicación en cuanto a conductividad y resistencia a la corrosión.
4. Rendimiento estable del equipo, fácil mantenimiento.
El equipo está equipado con un sistema de control inteligente que permite el ajuste automático de parámetros y el monitoreo en tiempo real de la uniformidad del espesor de la película; adopta un diseño modular para un fácil mantenimiento, reduciendo el tiempo de inactividad.
Solicitud:Se puede utilizar para empaquetado avanzado TGV/TSV/TMV, capaz de lograr un recubrimiento de capa de semillas de orificios profundos con una relación de aspecto ≥10:1.
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