Elequipo de recubrimiento al vacíoSe compone de muchas piezas precisas, fabricadas mediante diversos procesos, como soldadura, rectificado, torneado, cepillado, mandrilado, fresado, etc. Debido a estos procesos, la superficie de las piezas del equipo inevitablemente se contamina con contaminantes como grasa, suciedad de aceite, virutas metálicas, fundente de soldadura, pasta de pulido, marcas de sudor, etc. Estos contaminantes se volatilizan fácilmente en condiciones de vacío, lo que afecta el vacío final del equipo.
Además, estos contaminantes del vacío provenientes del procesamiento mecánico absorben una gran cantidad de gas en el entorno a presión atmosférica. En el vacío, estos gases previamente adsorbidos también se liberan, lo que se convierte en un factor importante que limita el vacío límite. Por esta razón, los contaminantes deben eliminarse antes de ensamblar las piezas de la máquina de recubrimiento al vacío.
Durante el uso de equipos de vacío, sus componentes también se contaminan. Sin embargo, la contaminación de esta fuente se debe principalmente a las condiciones de uso y a la bomba de vacío.
1. La evaporación del filamento del vacuómetro en condiciones de alta temperatura provocará la formación de una película sobre el aislante cerámico, lo que dañará su resistencia de aislamiento hasta cierto punto y también tendrá cierto impacto en la precisión de su medición;
2. Debido a la evaporación a alta temperatura, se formará una película metálica en la superficie cerca del filamento del cañón de electrones en el vacío;
3. Debido a la pulverización catódica de la pieza de trabajo, la pared interna del equipo de grabado con haz de iones se contaminará con salpicaduras;
4. La pared interior del equipo de recubrimiento por evaporación al vacío se contaminará con el material objetivo de evaporación;
5. A menudo se utiliza un sistema de secado al vacío y el sistema se contaminará con las sustancias evaporadas;
6. El aceite de la bomba de difusión y el aceite de la bomba mecánica del equipo de recubrimiento al vacío también son una fuente importante de contaminación. Tras un largo periodo de funcionamiento, puede formarse una película de aceite en su interior.
En resumen, la desinfección por vacío de equipos abarca el equipo, el sistema de vacío, la producción del proceso de vacío y otros aspectos y vínculos, así como los requisitos del propio equipo de recubrimiento por vacío y las condiciones de uso específicas del proceso de vacío. Por lo tanto, la contaminación por vacío es un problema que requiere atención, ya que afecta el rendimiento del equipo, por lo que es fundamental realizar una limpieza regular o periódica.
Hora de publicación: 21 de febrero de 2023