El coeficiente de resistencia térmica de la película metálica varía con el espesor de la película: las películas delgadas son negativas, las gruesas son positivas y las más gruesas son similares, pero no idénticas, a los materiales a granel. En general, el coeficiente de resistencia térmica cambia de negativo a positivo a medida que el espesor de la película aumenta a decenas de nanómetros.
Además, la tasa de evaporación también afecta el coeficiente de temperatura resistivo de las películas metálicas. Una baja tasa de evaporación preparada por la capa de película está suelta, los electrones a través de su barrera de potencial y la capacidad de producir conductividad es débil, junto con la oxidación y la adsorción, por lo que el valor de resistencia es alto, el coeficiente de temperatura de resistencia es pequeño, o incluso negativo, con el aumento de la tasa de evaporación, el coeficiente de temperatura de resistencia de la resistencia de un pequeño cambio de grande, de negativo a positivo. Esto se debe a la baja tasa de evaporación de la película preparada debido a la oxidación de las propiedades semiconductoras, el coeficiente de temperatura de resistencia de valores negativos. Las películas preparadas a alta tasa de evaporación tienden a tener propiedades metálicas y tienen un coeficiente de temperatura de resistencia positivo.
Dado que la estructura de la película cambia irreversiblemente con la temperatura, la resistencia y el coeficiente de temperatura de resistencia también varían con la temperatura de la capa de recubrimiento durante la evaporación. Cuanto más delgada sea la película, más drástico será el cambio. Esto puede considerarse como resultado de los cambios químicos causados por la reevaporación y la redistribución de partículas de la película con estructura tubular o de isla aproximada sobre el sustrato, así como por la dispersión reticular, la dispersión de impurezas, la dispersión de defectos reticulares y la oxidación.
–Este artículo es publicado porfabricación de máquinas de recubrimiento al vacíor Guangdong Zhenhua
Hora de publicación: 18 de enero de 2024