Kiuj estas la poluaj fontoj de vakuaj tegaĵaj ekipaĵoj

Lavakua tegaĵa ekipaĵokonsistas el multaj precizaj partoj, kiuj estas faritaj per multaj procezoj, kiel veldado, muelado, tornado, rabotado, borado, frezado kaj tiel plu. Pro ĉi tiuj laboroj, la surfaco de ekipaĵpartoj neeviteble estos poluita per iuj poluaĵoj kiel graso, olea malpuraĵo, metalaj pecetoj, velda fluaĵo, polurpasto, ŝvitmarkoj kaj tiel plu. Ĉi tiuj poluaĵoj facile vaporiĝas sub vakuaj kondiĉoj, tiel influante la finfinan vakuon de la ekipaĵo.

Krome, ĉi tiuj vakuaj poluaĵoj el mekanika prilaborado sorbas grandan kvanton da gaso en la atmosfera premo, kaj en la vakua stato, ĉi tiuj antaŭe adsorbitaj gasoj ankaŭ denove liberiĝos, fariĝante grava faktoro limiganta la liman vakuon. Pro ĉi tiu kialo, la poluaĵoj devas esti forigitaj antaŭ ol la partoj de la vakua tegmaŝino estas kunmetitaj.

Dum la uzado de vakua ekipaĵo, ĝiaj komponantoj ankaŭ estos poluitaj. Tamen, la poluado de ĉi tiu fonto estas ĉefe kaŭzita de la uzkondiĉoj kaj la vakua pumpilo.

1. La vaporiĝo de la filamento de la vakua mezurilo sub altaj temperaturoj kondukos al la formado de filmo sur la ceramika izolilo, kiu difektos ĝian izolan forton iagrade, kaj ankaŭ havos certan efikon sur la precizeco de ĝia mezurado;

2. Pro vaporiĝo je alta temperaturo, metala filmo formiĝos sur la surfaco proksime al la filamento de la elektronkanono en vakuo;

3. Pro ŝprucado de la laborpeco, la interna muro de la jonfaska gravura ekipaĵo estos poluita per ŝprucoj;

4. La interna muro de la vakua vaporiga tegaĵa ekipaĵo estos poluita per sia vaporiga cela materialo;

5. Vakua sekigsistemo ofte estas uzata, kaj la sistemo estos poluita per la vaporiĝintaj substancoj;

6. La difuza pumpiloleo kaj mekanika pumpiloleo en la vakua tegaĵa ekipaĵo ankaŭ estas grava fonto de poluado. Post longa funkciado de la tegaĵmaŝino, olea tavolo povas formiĝi interne de la ekipaĵo.

Resumante, la vakua steriligo de ekipaĵo implikas vakuan ekipaĵon, vakuan sistemon, produktadon per vakua procezo kaj aliajn aspektojn kaj ligojn, same kiel la postulojn de la vakua tega ekipaĵo mem kaj la specialan vakuan procezon rilate al la uzkondiĉoj. Tial, vakua poluado estas problemo inda je atento, ĉar ĉi tiuj poluadoj influos la funkciadon de la ekipaĵo, kaj oni devas atenti regulan aŭ ajnan purigadon.