La temperaturkoeficiento de rezistanco de metala filmo varias laŭ la dikeco de la filmo, maldikaj filmoj estas negativaj, dikaj filmoj estas pozitivaj, kaj pli dikaj filmoj estas similaj sed ne identaj al la grocaj materialoj. Ĝenerale, la temperaturkoeficiento de rezistanco ŝanĝiĝas de negativa al pozitiva kiam la dikeco de la filmo pliiĝas ĝis dekoj da nanometroj.
Krome, la vaporiĝrapideco ankaŭ influas la rezistan temperaturkoeficienton de metalaj filmoj. Ĉe malalta vaporiĝrapideco, la filmotavolo estas malfiksa, la elektronoj trairas ĝian potencialan baron kaj la kapablo produkti konduktivecon estas malforta, kunligita kun oksidiĝo kaj adsorbo, do la rezistancovaloro estas alta, la rezistancotemperaturkoeficiento estas malgranda, aŭ eĉ negativa. Kun la pliiĝo de la vaporiĝrapideco, la rezistancotemperaturkoeficiento de la rezisto ŝanĝiĝas iomete de granda, de negativa al pozitiva. Ĉi tio ŝuldiĝas al la malalta vaporiĝrapideco de la filmo preparita pro la oksidiĝo de la duonkonduktaĵaj ecoj, kaj la rezistancotemperaturkoeficiento havas negativajn valorojn. La filmoj preparitaj kun alta vaporiĝrapideco emas havi metalajn ecojn kaj pozitivan rezistancotemperaturkoeficienton.
Ĉar la strukturo de la filmo ŝanĝiĝas nerevokeble kun temperaturo, la rezistanco kaj la rezistanca temperaturkoeficiento de la filmo ankaŭ ŝanĝiĝas kun la temperaturo de la tegaĵa tavolo dum vaporiĝo, kaj ju pli maldika la filmo, des pli drasta la ŝanĝo. Ĉi tio povas esti konsiderata kiel rezulto de la kemiaj ŝanĝoj kaŭzitaj de revaporiĝo kaj redistribuo de partikloj de la proksimuma insula aŭ tubforma struktura filmo sur la substrato, same kiel krada disĵeto, malpuraĵa disĵeto, disĵeto de kraddifektoj kaj oksidiĝo.
–Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikado de vakua tegaĵmaŝinor Guangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 18-a de januaro 2024