Rekta jonfaskodemetado estas tipo de jonfaskohelpata demetado. La rekta jonfaskodemetado estas ne-mas-apartigita jonfaskodemetado. Ĉi tiu tekniko unue estis uzata por produkti diamant-similajn karbonajn filmojn en 1971, bazite sur la principo, ke la ĉefa parto de la katodo kaj anodo de la jonfonto estas farita el karbono.
La sentema gaso estas kondukata en la malŝarĝan ĉambron, kaj ekstera magneta kampo estas aldonita por kaŭzi plasmomalŝarĝon sub malaltaj premaj kondiĉoj, fidante je la ŝpruceta efiko de la jonoj sur la elektrodoj por produkti karbonajn jonojn. Karbonaj jonoj kaj densaj jonoj en la plasmo estis samtempe induktitaj en la depozician ĉambron, kaj ili estis akcelitaj por esti injektitaj sur la substraton pro la negativa biaspremo sur la substrato.
La testrezultoj montras, ke la karbonaj jonoj kun energio de 50~100eV ĉeĉambrotemperaturo, en Si, NaCl, KCl, Ni kaj aliaj substratoj sur la preparado de travidebla diamant-simila karbonfilmo, rezisteco tiel alta kiel 10Q-cm, refrakta indico de ĉirkaŭ 2, nesolvebla en neorganikaj kaj organikaj acidoj, havas tre altan malmolecon.
——Ĉi tiu artikolo estas publikigita defabrikanto de vakuaj tegaĵmaŝinojGuangdong Zhenhua
Afiŝtempo: 31-a de aŭgusto 2023