Οεξοπλισμός επίστρωσης κενούαποτελείται από πολλά ακριβή μέρη, τα οποία κατασκευάζονται μέσω πολλών διαδικασιών, όπως συγκόλληση, λείανση, τόρνευση, πλάνισμα, διάτρηση, φρεζάρισμα και ούτω καθεξής. Λόγω αυτών των εργασιών, η επιφάνεια των εξαρτημάτων του εξοπλισμού αναπόφευκτα θα μολυνθεί με ορισμένους ρύπους όπως γράσο, βρωμιά λαδιού, μεταλλικά ρινίσματα, συλλίπασμα συγκόλλησης, πάστα στίλβωσης, σημάδια ιδρώτα και ούτω καθεξής. Αυτοί οι ρύποι είναι εύκολο να εξατμιστούν υπό συνθήκες κενού, επηρεάζοντας έτσι το τελικό κενό του εξοπλισμού.
Επιπλέον, αυτοί οι ρύποι κενού από τη μηχανική επεξεργασία απορροφούν μεγάλη ποσότητα αερίου στο περιβάλλον ατμοσφαιρικής πίεσης και, σε κατάσταση κενού, αυτά τα προηγουμένως προσροφημένα αέρια θα απελευθερωθούν ξανά, γεγονός που αποτελεί σημαντικό παράγοντα περιορισμού του ορίου κενού. Για το λόγο αυτό, οι ρύποι πρέπει να αφαιρεθούν πριν από τη συναρμολόγηση των εξαρτημάτων της μηχανής επικάλυψης κενού.
Κατά τη χρήση εξοπλισμού κενού, τα εξαρτήματά του θα μολυνθούν επίσης. Ωστόσο, η ρύπανση από αυτήν την πηγή προκαλείται κυρίως από τις συνθήκες χρήσης και την αντλία κενού.
1. Η εξάτμιση του νήματος του μετρητή κενού υπό συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας θα οδηγήσει στο σχηματισμό μιας μεμβράνης στον κεραμικό μονωτή, η οποία θα βλάψει την αντοχή της μόνωσης σε κάποιο βαθμό και θα έχει επίσης κάποια επίδραση στην ακρίβεια της μέτρησής του.
2. Λόγω της εξάτμισης σε υψηλή θερμοκρασία, θα σχηματιστεί μια μεταλλική μεμβράνη στην επιφάνεια κοντά στο νήμα του ηλεκτρονικού πυροβόλου στο κενό.
3. Λόγω του ψεκασμού του τεμαχίου εργασίας, το εσωτερικό τοίχωμα του εξοπλισμού χάραξης με δέσμη ιόντων θα μολυνθεί από πιτσιλιές.
4. Το εσωτερικό τοίχωμα του εξοπλισμού επίστρωσης με εξάτμιση κενού θα μολυνθεί από το υλικό-στόχο εξάτμισης.
5. Χρησιμοποιείται συχνά σύστημα ξήρανσης κενού και το σύστημα θα μολυνθεί από τις εξατμισμένες ουσίες.
6. Το λάδι της αντλίας διάχυσης και το λάδι της μηχανικής αντλίας στον εξοπλισμό επίστρωσης κενού αποτελούν επίσης σημαντική πηγή ρύπανσης. Μετά από μεγάλο χρονικό διάστημα λειτουργίας της μηχανής επίστρωσης, ενδέχεται να σχηματιστεί μια μεμβράνη λαδιού στο εσωτερικό του εξοπλισμού.
Συνοψίζοντας, η απολύμανση κενού του εξοπλισμού περιλαμβάνει τον εξοπλισμό κενού, το σύστημα κενού, την παραγωγή κενού και άλλες πτυχές και συνδέσεις, καθώς και τις απαιτήσεις του ίδιου του εξοπλισμού επίστρωσης κενού και της ειδικής διαδικασίας κενού σχετικά με τις συνθήκες χρήσης. Επομένως, η ρύπανση από το κενό είναι ένα πρόβλημα που αξίζει προσοχής, επειδή αυτή η ρύπανση θα επηρεάσει την απόδοση του εξοπλισμού και πρέπει να δοθεί προσοχή στον τακτικό ή οποτεδήποτε καθαρισμό.
Ώρα δημοσίευσης: 21 Φεβρουαρίου 2023