Τα περισσότερα χημικά στοιχεία μπορούν να εξατμιστούν συνδυάζοντάς τα με χημικές ομάδες, π.χ. το Si αντιδρά με H για να σχηματίσει SiH4, και το Al συνδυάζεται με CH3 για να σχηματίσει Al(CH3). Στη θερμική διεργασία CVD, τα παραπάνω αέρια απορροφούν μια ορισμένη ποσότητα θερμικής ενέργειας καθώς διέρχονται από το θερμαινόμενο υπόστρωμα και σχηματίζουν αντιδραστικές ομάδες, όπως CH3 και AL(CH3)2, κ.λπ. Στη συνέχεια συνδυάζονται μεταξύ τους για να σχηματίσουν τις αντιδραστικές ομάδες, οι οποίες στη συνέχεια εναποτίθενται στο υπόστρωμα. Στη συνέχεια, συνδυάζονται μεταξύ τους και εναποτίθενται ως λεπτές μεμβράνες. Στην περίπτωση του PECVD, η σύγκρουση ηλεκτρονίων, ενεργητικών σωματιδίων και μορίων αέριας φάσης στο πλάσμα παρέχει την ενέργεια ενεργοποίησης που απαιτείται για τον σχηματισμό αυτών των αντιδραστικών χημικών ομάδων.
Τα πλεονεκτήματα του PECVD εντοπίζονται κυρίως στις ακόλουθες πτυχές:
(1) Χαμηλότερη θερμοκρασία διεργασίας σε σύγκριση με τη συμβατική χημική εναπόθεση ατμών, η οποία οφείλεται κυρίως στην ενεργοποίηση των δραστικών σωματιδίων με πλάσμα αντί για τη συμβατική ενεργοποίηση με θέρμανση.
(2) Όπως και με τη συμβατική καρδιαγγειακή απεικόνιση (CVD), καλή περιτύλιξη της στρώσης της μεμβράνης.
(3) Η σύνθεση του στρώματος μεμβράνης μπορεί να ελεγχθεί αυθαίρετα σε μεγάλο βαθμό, καθιστώντας εύκολη την απόκτηση πολυστρωματικών μεμβρανών.
(4) Η τάση της μεμβράνης μπορεί να ελεγχθεί με τεχνολογία ανάμειξης υψηλής/χαμηλής συχνότητας.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 18 Απριλίου 2024