Η άμεση εναπόθεση με δέσμη ιόντων είναι ένας τύπος εναπόθεσης με υποβοήθηση δέσμης ιόντων. Η άμεση εναπόθεση με δέσμη ιόντων είναι μια εναπόθεση με δέσμη ιόντων χωρίς διαχωρισμό μάζας. Αυτή η τεχνική χρησιμοποιήθηκε για πρώτη φορά για την παραγωγή μεμβρανών άνθρακα τύπου διαμαντιού το 1971, με βάση την αρχή ότι το κύριο μέρος της καθόδου και της ανόδου της πηγής ιόντων είναι κατασκευασμένο από άνθρακα.
Το αισθητό αέριο οδηγείται στον θάλαμο εκκένωσης και προστίθεται ένα εξωτερικό μαγνητικό πεδίο για να προκαλέσει εκκένωση πλάσματος υπό συνθήκες χαμηλής πίεσης, βασιζόμενο στην επίδραση ψεκασμού των ιόντων στα ηλεκτρόδια για την παραγωγή ιόντων άνθρακα. Ιόντα άνθρακα και πυκνά ιόντα στο πλάσμα εισήχθησαν στον θάλαμο εναπόθεσης ταυτόχρονα και επιταχύνθηκαν για να εγχυθούν στο υπόστρωμα λόγω της αρνητικής πίεσης πόλωσης στο υπόστρωμα.
Τα αποτελέσματα των δοκιμών δείχνουν ότι τα ιόντα άνθρακα με ενέργεια 50~100eV σεδωμάτιοθερμοκρασία, σε Si, NaCl, KCl, Ni και άλλα υποστρώματα για την παρασκευή διαφανούς μεμβράνης άνθρακα τύπου διαμαντιού, ειδικής αντίστασης έως και 10Q-cm, δείκτη διάθλασης περίπου 2, αδιάλυτο σε ανόργανα και οργανικά οξέα, έχει πολύ υψηλή σκληρότητα.
——Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 31 Αυγούστου 2023