Devakuumbelægningsudstyrer sammensat af mange præcise dele, der fremstilles gennem mange processer, såsom svejsning, slibning, drejning, høvling, boring, fræsning osv. På grund af disse arbejder vil overfladen af udstyrsdelene uundgåeligt blive forurenet med visse forurenende stoffer såsom fedt, olie, snavs, metalspåner, svejseflusmiddel, polerpasta, svedmærker osv. Disse forurenende stoffer fordamper let under vakuumforhold, hvilket påvirker udstyrets endelige vakuum.
Derudover absorberer disse vakuumforurenende stoffer fra mekanisk bearbejdning en stor mængde gas i det atmosfæriske trykmiljø, og i vakuumtilstanden vil disse tidligere adsorberede gasser også blive frigivet igen, hvilket bliver en væsentlig faktor, der begrænser grænsevakuumet. Af denne grund skal forurenende stoffer fjernes, før delene af vakuumbelægningsmaskinen samles.
Under brug af vakuumudstyr vil dets komponenter også blive forurenet. Forureningen fra denne kilde skyldes dog primært brugsforholdene og vakuumpumpen.
1. Fordampning af vakuummålerens glødetråd under høje temperaturforhold vil føre til dannelse af en film på den keramiske isolator, hvilket vil skade dens isoleringsstyrke i et vist omfang og også have en vis indflydelse på målenøjagtigheden;
2. På grund af fordampning ved høj temperatur vil der dannes en metalfilm på overfladen nær elektronkanonens glødetråd i vakuum;
3. På grund af emnesputtering vil den indre væg af ionstråleætsningsudstyret blive forurenet af stænk;
4. Den indre væg af vakuumfordampningsbelægningsudstyret vil blive forurenet af dets fordampningsmålmateriale;
5. Vakuumtørringssystem anvendes ofte, og systemet vil blive forurenet af de fordampede stoffer;
6. Diffusionspumpeolien og den mekaniske pumpeolie i vakuumbelægningsudstyret er også en væsentlig kilde til forurening. Når belægningsmaskinen har været i drift i lang tid, kan der dannes en oliefilm inde i udstyret.
Kort sagt involverer vakuumsanering af udstyr vakuumudstyr, vakuumsystem, vakuumprocesproduktion og andre aspekter og forbindelser, samt kravene til selve vakuumbelægningsudstyret og den særlige vakuumproces under brugsforholdene. Derfor er vakuumforurening et problem, der er værd at være opmærksom på, da denne forurening vil påvirke udstyrets ydeevne, og der bør lægges vægt på regelmæssig eller til enhver tid rengørning.
Opslagstidspunkt: 21. feb. 2023