Mae dyddodiad trawst ïon uniongyrchol yn fath o ddyddodiad â chymorth trawst ïon. Dyddodiad trawst ïon heb ei wahanu o ran màs yw'r dyddodiad trawst ïon uniongyrchol. Defnyddiwyd y dechneg hon gyntaf i gynhyrchu ffilmiau carbon tebyg i ddiamwnt ym 1971, yn seiliedig ar yr egwyddor bod prif ran y catod a'r anod yn y ffynhonnell ïon wedi'i gwneud o garbon.
Mae'r nwy synhwyrol yn cael ei arwain i'r siambr rhyddhau, ac mae maes magnetig allanol yn cael ei ychwanegu i achosi rhyddhau plasma o dan amodau pwysedd isel, gan ddibynnu ar effaith chwistrellu'r ïonau ar yr electrodau i gynhyrchu ïonau carbon. Cafodd ïonau carbon ac ïonau dwys yn y plasma eu hysgogi i'r siambr dyddodiad ar yr un pryd, a chawsant eu cyflymu i gael eu chwistrellu i'r swbstrad oherwydd y pwysau rhagfarn negyddol ar y swbstrad.
Mae canlyniadau'r profion yn dangos bod yr ïonau carbon gydag egni o 50 ~ 100eV ynystafelltymheredd, mewn Si, NaCI, KCI, Ni a swbstradau eraill ar baratoi ffilm garbon dryloyw tebyg i ddiamwnt, gwrthedd mor uchel â 10Q-cm, mynegai plygiannol o tua 2, anhydawdd mewn asidau anorganig ac organig, mae ganddynt galedwch uchel iawn.
——Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Awst-31-2023