Zařízení pro vakuové nanášení laku se obvykle skládá z několika klíčových komponent, z nichž každá má svou specifickou funkci a které spolupracují na dosažení efektivního a rovnoměrného nanášení filmu. Níže je uveden popis hlavních komponent a jejich funkcí:
Hlavní komponenty
Vakuová komora:
Funkce: Poskytuje prostředí s nízkým tlakem nebo vysokým vakuem, které zabraňuje reakci nátěrového materiálu s nečistotami ve vzduchu během odpařování nebo naprašování, čímž zajišťuje čistotu a kvalitu filmu.
Konstrukce: Obvykle vyrobená z vysoce pevné nerezové oceli nebo hliníku, vnitřní konstrukce zohledňuje distribuci proudění vzduchu a snadné umístění substrátu.
Systém vakuového čerpadla:
Funkce: Slouží k odčerpávání plynu uvnitř vakuové komory pro dosažení požadované úrovně vakua.
Typy: Včetně mechanických čerpadel (např. rotačních lopatkových čerpadel), turbomolekulárních čerpadel, difuzních čerpadel a iontových čerpadel.
Zdroj odpařování nebo zdroj rozprašování:
Funkce: zahřívá a odpařuje povlakový materiál za vzniku páry nebo plazmy ve vakuu.
Typy: včetně zdroje odporového ohřevu, zdroje odpařování elektronovým paprskem, zdroje magnetronového naprašování a zdroje laserového odpařování atd.
Držák substrátu a otočný mechanismus:
Funkce: Drží substrát a zajišťuje rovnoměrné nanášení povlakového materiálu na povrch substrátu rotací nebo oscilací.
KONSTRUKCE: Obvykle zahrnuje nastavitelné svorky a otočné/oscilační mechanismy pro použití s podklady různých tvarů a velikostí.
Napájení a řídicí systém:
Funkce: Napájí odpařovací zdroj, naprašovací zdroj a další zařízení a řídí parametry celého procesu nanášení povlaku, jako je teplota, vakuum a čas.
Součásti: Zahrnuje napájecí zdroje, ovládací panely, počítačové řídicí systémy a monitorovací senzory.
Systém přívodu plynu (pro zařízení pro naprašování):
Funkce: Dodává inertní plyny (např. argon) nebo reaktivní plyny (např. kyslík, dusík) pro udržení plazmatu nebo pro účast v chemické reakci za účelem vytvoření specifického tenkého filmu.
Součásti: Zahrnuje plynové lahve, regulátory průtoku a potrubí pro přívod plynu.
Chladicí systém:
Funkce: ochlazuje zdroj odpařování, zdroj naprašování a vakuovou komoru, aby se zabránilo přehřátí.
Typy: zahrnují vodní chladicí systémy a vzduchové chladicí systémy atd.
Monitorovací a detekční systém:
Funkce: Monitorování klíčových parametrů procesu nanášení povlaku v reálném čase, jako je tloušťka filmu, rychlost nanášení, vakuum a teplota, pro zajištění kvality povlaku.
Typy: včetně mikrováh z křemenného krystalu, optických monitorů tloušťky a analyzátorů zbytkových plynů atd.
Ochranná zařízení:
Funkce: Zajišťuje bezpečnost obsluhy a zařízení před nebezpečími způsobenými vysokými teplotami, vysokým napětím nebo vakuovým prostředím.
Součásti: Zahrnuje ochranné kryty, tlačítka nouzového zastavení a bezpečnostní blokování atd.
Shrnout.
Vakuové nanášecí zařízení realizuje proces nanášení vysoce kvalitních tenkých vrstev prostřednictvím synergického působení těchto komponent. Tato zařízení hrají zásadní roli při přípravě optických, elektronických, dekorativních a funkčních tenkých vrstev.
–Tento článek vydávávýrobce vakuových lakovacích strojůGuangdong Zhenhua
Čas zveřejnění: 23. července 2024