Uequipaggiamentu di rivestimentu à vuotohè cumpostu da parechje parte precise, chì sò fatte per mezu di parechji prucessi, cum'è a saldatura, a smerigliatura, a tornitura, a piallatura, a foratura, a fresatura è cusì. Per via di sti travagli, a superficia di e parte di l'attrezzatura serà inevitabilmente contaminata da certi inquinanti cum'è grassu, sporcizia d'oliu, trucioli di metallu, flussu di saldatura, pasta di lucidatura, segni di sudore è cusì. Quessi inquinanti sò faciuli da volatilizà in cundizioni di vacuum, affettendu cusì u vacuum finale di l'attrezzatura.
Inoltre, sti inquinanti di u vacuum da u trattamentu meccanicu assorbenu una grande quantità di gas in l'ambiente di pressione atmosferica, è in u statu di vacuum, sti gas adsorbiti prima saranu ancu liberati di novu, diventendu un fattore maiò chì limita u vacuum limite. Per questa ragione, l'inquinanti devenu esse rimossi prima di assemblà e parti di a macchina di rivestimentu à vacuum.
Durante l'usu di l'equipaggiu di vacuum, i so cumpunenti saranu ancu contaminati. Tuttavia, l'inquinamentu da sta fonte hè principalmente causatu da e cundizioni d'usu è da a pompa di vacuum.
1. L'evaporazione di u filamentu di u vacuum manometru in cundizioni di alta temperatura purterà à a furmazione di una pellicola nantu à l'isolante ceramicu, chì dannigherà a so forza d'isolamentu finu à un certu puntu, è averà ancu un certu impattu nantu à a precisione di a so misurazione;
2. A causa di l'evaporazione à alta temperatura, una pellicola metallica si formerà nantu à a superficia vicinu à u filamentu di u cannone elettronicu in u vacuum;
3. A causa di a sputtering di a pezza, u muru internu di l'equipaggiu di incisione à fasciu ionicu serà contaminatu da spruzzi;
4. U muru internu di l'equipaggiu di rivestimentu per evaporazione à vuoto serà contaminatu da u so materiale di destinazione per l'evaporazione;
5. U sistema di asciugatura à u vacuum hè spessu adupratu, è u sistema serà contaminatu da e sustanze evaporate;
6. L'oliu di a pompa di diffusione è l'oliu di a pompa meccanica in l'equipaggiu di rivestimentu à vuoto sò ancu una fonte maiò d'inquinamentu. Dopu chì a macchina di rivestimentu hà travagliatu per un bellu pezzu, una pellicola d'oliu pò furmà si in l'equipaggiu.
In riassuntu, a sanificazione à vuoto di l'attrezzatura implica l'attrezzatura à vuoto, u sistema à vuoto, a pruduzzione di u prucessu à vuoto è altri aspetti è ligami, è ancu i requisiti di l'attrezzatura di rivestimentu à vuoto stessa è u prucessu speciale à vuoto nantu à e cundizioni d'usu. Dunque, l'inquinamentu da vuoto hè un prublema degne d'attenzione, perchè questu inquinamentu affetterà e prestazioni di l'attrezzatura, è l'attenzione deve esse prestata à una pulizia regulare o in ogni mumentu.
Data di publicazione: 21 di ferraghju 2023