Elequip de recobriment al buitestà compost de moltes peces precises, que es fabriquen mitjançant molts processos, com ara soldadura, rectificat, tornejat, planejat, mandrinat, fresat, etc. A causa d'aquests treballs, la superfície de les peces de l'equip inevitablement es contaminarà amb alguns contaminants com ara greix, brutícia d'oli, encenalls metàl·lics, flux de soldadura, pasta de polit, marques de suor, etc. Aquests contaminants es volatilitzen fàcilment en condicions de buit, cosa que afecta el buit final de l'equip.
A més, aquests contaminants de buit procedents del processament mecànic absorbeixen una gran quantitat de gas en l'entorn de pressió atmosfèrica i, en estat de buit, aquests gasos prèviament adsorbits també s'alliberaran de nou, convertint-se en un factor important que limita el buit límit. Per aquest motiu, els contaminants s'han d'eliminar abans de muntar les peces de la màquina de recobriment al buit.
Durant l'ús d'equips de buit, els seus components també es contaminaran. Tanmateix, la contaminació d'aquesta font és causada principalment per les condicions d'ús i la bomba de buit.
1. L'evaporació del filament del manòmetre de buit en condicions d'alta temperatura conduirà a la formació d'una pel·lícula sobre l'aïllant ceràmic, que danyarà la seva resistència aïllant fins a cert punt i també tindrà un cert impacte en la precisió de la seva mesura;
2. A causa de l'evaporació a alta temperatura, es formarà una pel·lícula metàl·lica a la superfície prop del filament del canó d'electrons al buit;
3. A causa de la polvorització de la peça, la paret interior de l'equip de gravat amb feix d'ions es contaminarà per esquitxades;
4. La paret interior de l'equip de recobriment per evaporació al buit estarà contaminada pel material objectiu d'evaporació;
5. Sovint s'utilitza un sistema d'assecat al buit i el sistema es contaminarà amb les substàncies evaporades;
6. L'oli de la bomba de difusió i l'oli de la bomba mecànica de l'equip de recobriment al buit també són una font important de contaminació. Després que la màquina de recobriment hagi estat funcionant durant molt de temps, es pot formar una pel·lícula d'oli dins de l'equip.
En resum, la higienització per buit dels equips implica l'equip de buit, el sistema de buit, la producció del procés de buit i altres aspectes i enllaços, així com els requisits del propi equip de recobriment al buit i el procés de buit especial en les condicions d'ús. Per tant, la contaminació per buit és un problema que mereix atenció, ja que aquesta contaminació afectarà el rendiment de l'equip, i s'ha de prestar atenció a la neteja regular o en qualsevol moment.
Data de publicació: 21 de febrer de 2023