Temperaturni koeficijent otpora metalnog filma varira s debljinom filma, tanki filmovi su negativni, debeli filmovi su pozitivni, a deblji filmovi su slični, ali ne i identični materijalima u rasutom stanju. Općenito, temperaturni koeficijent otpora mijenja se od negativnog do pozitivnog kako se debljina filma povećava na desetine nanometara.
Pored toga, brzina isparavanja također utiče na koeficijent otpora metalnih filmova. Niska brzina isparavanja stvara labav sloj filma, elektroni prolaze kroz potencijalnu barijeru i sposobnost stvaranja provodljivosti su slabi, što je povezano s oksidacijom i adsorpcijom, pa je vrijednost otpora visoka, a koeficijent otpora temperature mali ili čak negativan. S povećanjem brzine isparavanja, koeficijent otpora temperature se malo mijenja od velikog do pozitivnog. To je zbog niske brzine isparavanja pripremljenog filma zbog oksidacije svojstava poluprovodnika, a koeficijent otpora temperature ima negativne vrijednosti. Filmovi pripremljeni pri visokoj brzini isparavanja obično imaju metalna svojstva i pozitivan koeficijent otpora temperature.
Budući da se struktura filma nepovratno mijenja s temperaturom, otpor i temperaturni koeficijent otpora filma također se mijenjaju s temperaturom sloja premaza tokom isparavanja, a što je film tanji, to je promjena drastičnija. Ovo se može smatrati rezultatom hemijskih promjena uzrokovanih ponovnim isparavanjem i preraspodjelom čestica filma približne ostrvske ili tubularne strukture na podlozi, kao i raspršenja rešetke, raspršenja nečistoća, raspršenja defekata rešetke i oksidacije.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvodnja mašina za vakuumsko premazivanjer Guangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 18. januar 2024.