Dobrodošli u Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
jedan_baner

Uvod u direktno taloženje jonskim snopom

Izvor članka: Zhenhua usisivač
Pročitano: 10
Objavljeno: 23.08.2031.

Direktno nanošenje jonskim snopom je vrsta nanošenja potpomognutog jonskim snopom. Direktno nanošenje jonskim snopom je nanošenje jonskim snopom bez razdvajanja mase. Ova tehnika je prvi put korištena za proizvodnju dijamantskih ugljičnih filmova 1971. godine, na osnovu principa da je glavni dio katode i anode jonskog izvora napravljen od ugljika.

22ead8c2989dffc0afc4f782828e370

Osjetljivi plin se dovodi u komoru za pražnjenje, a zatim se dodaje vanjsko magnetsko polje koje izaziva plazma pražnjenje pod uvjetima niskog tlaka, oslanjajući se na efekt raspršivanja iona na elektrodama kako bi se proizveli ugljični ioni. Ugljični ioni i gusti ioni u plazmi istovremeno su inducirani u komoru za taloženje i ubrzani su da bi se ubrizgali na podlogu zbog negativnog pritiska prednapona na podlozi.

Rezultati ispitivanja pokazuju da su ugljikovi ioni s energijom od 50~100eV nasobatemperatura, u Si, NaCl, KCI, Ni i drugim supstratima za pripremu prozirnog dijamantskog ugljičnog filma, otpornosti do 10 Q-cm, indeksa prelamanja od oko 2, nerastvorljivog u neorganskim i organskim kiselinama, ima vrlo visoku tvrdoću.

——Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua


Vrijeme objave: 31. avg. 2023.