Oprema za vakuumsko nanošenje premaza obično se sastoji od nekoliko ključnih komponenti, od kojih svaka ima svoju specifičnu funkciju, koje rade zajedno kako bi se postiglo efikasno i ujednačeno nanošenje filma. U nastavku slijedi opis glavnih komponenti i njihovih funkcija:
Glavne komponente
Vakuumska komora:
Funkcija: Obezbjeđuje okruženje niskog pritiska ili visokog vakuuma kako bi se spriječila reakcija materijala premaza sa nečistoćama u zraku tokom isparavanja ili raspršivanja, osiguravajući čistoću i kvalitet filma.
Struktura: Obično napravljena od visokočvrstog nehrđajućeg čelika ili aluminija, unutrašnji dizajn uzima u obzir distribuciju protoka zraka i jednostavnost postavljanja podloge.
Sistem vakuumske pumpe:
Funkcija: Koristi se za ispumpavanje plina unutar vakuumske komore kako bi se postigao potreban nivo vakuuma.
Vrste: Uključujući mehaničke pumpe (npr. rotacione krilne pumpe), turbomolekularne pumpe, difuzijske pumpe i jonske pumpe.
Izvor isparavanja ili izvor raspršivanja:
Funkcija: zagrijava i isparava materijal premaza formirajući paru ili plazmu u vakuumu.
Vrste: uključujući izvor otpornog zagrijavanja, izvor isparavanja elektronskim snopom, izvor magnetronskog raspršivanja i izvor laserskog isparavanja itd.
Držač podloge i rotirajući mehanizam:
Funkcija: Drži podlogu i osigurava ravnomjerno nanošenje premaznog materijala na površinu podloge rotacijom ili oscilacijom.
KONSTRUKCIJA: Obično uključuje podesive stezaljke i rotirajuće/oscilirajuće mehanizme za prilagođavanje podlogama različitih oblika i veličina.
Sistem napajanja i upravljanja:
Funkcija: Obezbjeđuje napajanje izvora isparavanja, izvora raspršivanja i druge opreme, te kontrolira parametre cjelokupnog procesa nanošenja premaza kao što su temperatura, vakuum i vrijeme.
Komponente: Uključuje napajanja, kontrolne ploče, kompjuterizirane kontrolne sisteme i senzore za nadzor.
Sistem za dovod plina (za opremu za nanošenje raspršivačem):
Funkcija: Snabdijeva inertne plinove (npr. argon) ili reaktivne plinove (npr. kisik, dušik) za održavanje plazme ili sudjelovanje u kemijskoj reakciji u stvaranju specifičnog tankog filma.
Komponente: Uključuje plinske boce, regulatore protoka i cijevi za dovod plina.
Sistem hlađenja:
Funkcija: hladi izvor isparavanja, izvor raspršivanja i vakuumsku komoru kako bi se spriječilo pregrijavanje.
Vrste: uključuju sisteme za vodeno hlađenje i sisteme za hlađenje zrakom itd.
Sistem za praćenje i detekciju:
Funkcija: Praćenje ključnih parametara u procesu nanošenja premaza u realnom vremenu, kao što su debljina filma, brzina nanošenja, vakuum i temperatura, kako bi se osigurala kvaliteta premaza.
Vrste: uključujući mikrovagu s kvarcnim kristalima, optički monitor debljine i analizator rezidualnog plina itd.
Zaštitni uređaji:
Funkcija: Osigurava sigurnost operatera i opreme od opasnosti uzrokovanih visokim temperaturama, visokim naponima ili vakuumskim okruženjima.
Komponente: Uključuje zaštitne štitnike, dugmad za zaustavljanje u nuždi i sigurnosne blokade itd.
Sumiraj.
Oprema za vakuumsko nanošenje premaza ostvaruje proces nanošenja visokokvalitetnih tankih filmova kroz sinergijski rad ovih komponenti. Ove mašine igraju vitalnu ulogu u pripremi optičkih, elektronskih, dekorativnih i funkcionalnih tankih filmova.
–Ovaj članak je objavljen od straneproizvođač mašina za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 23. jula 2024.