ডাইরেক্ট আয়ন বিম ডিপোজিশন হল এক ধরণের আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন। ডাইরেক্ট আয়ন বিম ডিপোজিশন হল একটি অ-ভর-বিভাজিত আয়ন বিম ডিপোজিশন। এই কৌশলটি প্রথম 1971 সালে হীরার মতো কার্বন ফিল্ম তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়েছিল, এই নীতির উপর ভিত্তি করে যে আয়ন উৎসের ক্যাথোড এবং অ্যানোডের প্রধান অংশ কার্বন দিয়ে তৈরি।
সংবেদনশীল গ্যাসটি স্রাব চেম্বারে নিয়ে যাওয়া হয়, এবং একটি বহিরাগত চৌম্বক ক্ষেত্র যোগ করা হয় যাতে কম চাপের পরিস্থিতিতে প্লাজমা স্রাব হয়, যা কার্বন আয়ন তৈরির জন্য ইলেকট্রোডের উপর আয়নগুলির স্পুটারিং প্রভাবের উপর নির্ভর করে। প্লাজমায় কার্বন আয়ন এবং ঘন আয়ন একই সময়ে ডিপোজিশন চেম্বারে প্ররোচিত হয়েছিল, এবং সাবস্ট্রেটের উপর নেতিবাচক পক্ষপাতের চাপের কারণে এগুলিকে সাবস্ট্রেটে ইনজেক্ট করার জন্য ত্বরান্বিত করা হয়েছিল।
পরীক্ষার ফলাফল দেখায় যে 50~100eV শক্তির কার্বন আয়নগুলিঘরতাপমাত্রা, Si, NaCI, KCI, Ni এবং অন্যান্য স্তরগুলিতে স্বচ্ছ হীরার মতো কার্বন ফিল্ম তৈরিতে, 10Q-cm পর্যন্ত উচ্চ প্রতিরোধ ক্ষমতা, প্রায় 2 এর প্রতিসরাঙ্ক, অজৈব এবং জৈব অ্যাসিডে অদ্রবণীয়, খুব উচ্চ কঠোরতা রয়েছে।
——এই প্রবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: আগস্ট-৩১-২০২৩