ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জাম সাধারণত বেশ কয়েকটি মূল উপাদান দিয়ে গঠিত, প্রতিটির নিজস্ব নির্দিষ্ট কার্যকারিতা রয়েছে, যা দক্ষ, অভিন্ন ফিল্ম জমা অর্জনের জন্য একসাথে কাজ করে। নীচে প্রধান উপাদান এবং তাদের কার্যকারিতার বর্ণনা দেওয়া হল:
প্রধান উপাদান
ভ্যাকুয়াম চেম্বার:
কার্যকারিতা: বাষ্পীভবন বা স্পুটারিংয়ের সময় আবরণ উপাদানকে বায়ুবাহিত অমেধ্যের সাথে প্রতিক্রিয়া করতে বাধা দেওয়ার জন্য একটি নিম্ন-চাপ বা উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশ প্রদান করে, যা ফিল্মের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান নিশ্চিত করে।
কাঠামো: সাধারণত উচ্চ-শক্তি, স্টেইনলেস স্টিল বা অ্যালুমিনিয়াম দিয়ে তৈরি, অভ্যন্তরীণ নকশায় বায়ুপ্রবাহ বিতরণ এবং সাবস্ট্রেট স্থাপনের সহজতা বিবেচনা করা হয়।
ভ্যাকুয়াম পাম্প সিস্টেম:
ফাংশন: প্রয়োজনীয় ভ্যাকুয়াম স্তর অর্জনের জন্য ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভিতরে গ্যাস পাম্প করে বের করে দিতে ব্যবহৃত হয়।
প্রকারভেদ: যান্ত্রিক পাম্প (যেমন ঘূর্ণমান ভেন পাম্প), টার্বোমলিকুলার পাম্প, ডিফিউশন পাম্প এবং আয়ন পাম্প সহ।
বাষ্পীভবন উৎস বা থুতু ফেলার উৎস:
কাজ: আবরণ উপাদানকে উত্তপ্ত করে বাষ্পীভূত করে ভ্যাকুয়ামে বাষ্প বা প্লাজমা তৈরি করে।
প্রকারভেদ: প্রতিরোধের তাপ উৎস, ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উৎস, ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং উৎস এবং লেজার বাষ্পীভবন উৎস ইত্যাদি সহ।
সাবস্ট্রেট হোল্ডার এবং ঘূর্ণন প্রক্রিয়া:
কার্যকারিতা: স্তরটিকে ধরে রাখে এবং ঘূর্ণন বা দোলনের মাধ্যমে স্তরের পৃষ্ঠে আবরণ উপাদানের অভিন্ন জমা নিশ্চিত করে।
নির্মাণ: সাধারণত বিভিন্ন আকার এবং আকারের সাবস্ট্রেটগুলিকে সামঞ্জস্য করার জন্য সামঞ্জস্যযোগ্য ক্ল্যাম্প এবং ঘূর্ণায়মান/দোলনকারী প্রক্রিয়া অন্তর্ভুক্ত থাকে।
বিদ্যুৎ সরবরাহ এবং নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা:
কার্যকারিতা: বাষ্পীভবন উৎস, স্পুটারিং উৎস এবং অন্যান্য সরঞ্জামগুলিকে শক্তি সরবরাহ করে এবং সামগ্রিক আবরণ প্রক্রিয়ার পরামিতি যেমন তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম এবং সময় নিয়ন্ত্রণ করে।
উপাদান: বিদ্যুৎ সরবরাহ, নিয়ন্ত্রণ প্যানেল, কম্পিউটারাইজড নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা এবং পর্যবেক্ষণ সেন্সর অন্তর্ভুক্ত।
গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা (স্পাটার লেপ সরঞ্জামের জন্য):
কাজ: প্লাজমা বজায় রাখার জন্য অথবা রাসায়নিক বিক্রিয়ায় অংশগ্রহণ করে একটি নির্দিষ্ট পাতলা আবরণ তৈরি করার জন্য নিষ্ক্রিয় গ্যাস (যেমন, আর্গন) বা প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস (যেমন, অক্সিজেন, নাইট্রোজেন) সরবরাহ করে।
উপাদান: গ্যাস সিলিন্ডার, প্রবাহ নিয়ন্ত্রক এবং গ্যাস সরবরাহ পাইপিং অন্তর্ভুক্ত।
কুলিং সিস্টেম:
কার্যকারিতা: অতিরিক্ত গরম রোধ করতে বাষ্পীভবন উৎস, স্পুটারিং উৎস এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারকে ঠান্ডা করে।
প্রকারভেদ: জল শীতলকরণ ব্যবস্থা এবং বায়ু শীতলকরণ ব্যবস্থা ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত।
পর্যবেক্ষণ এবং সনাক্তকরণ ব্যবস্থা:
ফাংশন: লেপের গুণমান নিশ্চিত করার জন্য লেপ প্রক্রিয়ার মূল পরামিতিগুলির রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ, যেমন ফিল্মের বেধ, জমার হার, ভ্যাকুয়াম এবং তাপমাত্রা।
প্রকারভেদ: কোয়ার্টজ স্ফটিক মাইক্রোব্যালেন্স, অপটিক্যাল বেধ মনিটর এবং অবশিষ্ট গ্যাস বিশ্লেষক ইত্যাদি সহ।
প্রতিরক্ষামূলক ডিভাইস:
ফাংশন: উচ্চ তাপমাত্রা, উচ্চ ভোল্টেজ বা ভ্যাকুয়াম পরিবেশের কারণে সৃষ্ট বিপদ থেকে অপারেটর এবং সরঞ্জামের সুরক্ষা নিশ্চিত করে।
উপাদান: গার্ড, জরুরি স্টপ বোতাম এবং নিরাপত্তা ইন্টারলক ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত।
সংক্ষেপে।
ভ্যাকুয়াম আবরণ সরঞ্জামগুলি এই উপাদানগুলির সমন্বয়মূলক কাজের মাধ্যমে উচ্চ-মানের পাতলা ফিল্ম জমা করার প্রক্রিয়াটি উপলব্ধি করে। এই মেশিনগুলি অপটিক্যাল, ইলেকট্রনিক, আলংকারিক এবং কার্যকরী পাতলা ফিল্ম তৈরিতে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: জুলাই-২৩-২০২৪