Theоборудване за вакуумно покритиее съставен от много прецизни части, които се изработват чрез много процеси, като заваряване, шлайфане, струговане, рендосване, пробиване, фрезоване и т.н. Поради тези работи, повърхността на частите на оборудването неизбежно ще бъде замърсена с някои замърсители, като мазнини, маслени замърсявания, метални стружки, заваръчен флюс, полираща паста, следи от пот и т.н. Тези замърсители лесно се изпаряват под вакуум, като по този начин влияят на крайния вакуум на оборудването.
Освен това, тези вакуумни замърсители от механичната обработка абсорбират голямо количество газ в среда с атмосферно налягане и във вакуумно състояние тези предварително адсорбирани газове също ще се освободят отново, превръщайки се в основен фактор, ограничаващ граничния вакуум. Поради тази причина замърсителите трябва да бъдат отстранени, преди частите на машината за вакуумно покритие да бъдат сглобени.
По време на употребата на вакуумно оборудване, неговите компоненти също ще бъдат замърсени. Замърсяването от този източник обаче се дължи главно на условията на употреба и вакуумната помпа.
1. Изпаряването на нишката на вакуумметъра при условия на висока температура ще доведе до образуването на филм върху керамичния изолатор, което ще повреди до известна степен неговата изолационна здравина и ще окаже известно влияние върху точността на измерването му;
2. Поради изпарението при висока температура, върху повърхността близо до нишката на електронната пушка във вакуум ще се образува метален филм;
3. Поради разпрашването на детайла, вътрешната стена на оборудването за йонно-лъчево ецване ще бъде замърсена от пръски;
4. Вътрешната стена на оборудването за вакуумно изпаряване ще бъде замърсена от материала, използван за изпаряване;
5. Често се използва вакуумна сушилня, която може да бъде замърсена от изпарените вещества;
6. Маслото на дифузионната помпа и маслото на механичната помпа във вакуумното оборудване за нанасяне на покритие също са основен източник на замърсяване. След продължителна работа на машината за нанасяне на покритие, вътре в оборудването може да се образува маслен филм.
В обобщение, вакуумната санация на оборудването включва вакуумно оборудване, вакуумна система, вакуумен процес на производство и други аспекти и връзки, както и изискванията към самото оборудване за вакуумно покритие и специалния вакуумен процес за условията на употреба. Следователно, вакуумното замърсяване е проблем, достоен за внимание, тъй като това замърсяване ще повлияе на работата на оборудването и трябва да се обърне внимание на редовното или по всяко време почистване.
Време на публикуване: 21 февруари 2023 г.