Температурният коефициент на съпротивление на металния филм варира в зависимост от дебелината му. Тънките филми са отрицателни, дебелите филми са положителни, а по-дебелите филми са подобни, но не идентични с обемните материали. Като цяло, температурният коефициент на съпротивление се променя от отрицателен към положителен с увеличаване на дебелината на филма до десетки нанометри.
Освен това, скоростта на изпарение влияе и върху коефициента на съпротивление на металните филми. При ниска скорост на изпарение, филмовият слой е хлабав, електроните преминават през потенциалната му бариера и способността му да произвежда проводимост са слаби, съчетани с окисление и адсорбция, така че стойността на съпротивлението е висока, коефициентът на съпротивление на температурата е малък или дори отрицателен. С увеличаване на скоростта на изпарение, коефициентът на съпротивление на температурата на съпротивлението се променя от голяма на положителна стойност. Това се дължи на ниската скорост на изпарение на получения филм поради окисляването на полупроводниковите свойства и отрицателните стойности на коефициента на съпротивление на температурата. Филмите, получени при висока скорост на изпарение, обикновено имат метални свойства и положителен коефициент на съпротивление на температурата.
Тъй като структурата на филма се променя необратимо с температурата, съпротивлението и температурният коефициент на съпротивление на филма също се променят с температурата на покривния слой по време на изпаряване и колкото по-тънък е филмът, толкова по-драстична е промяната. Това може да се разглежда като резултат от химичните промени, причинени от повторно изпаряване и преразпределение на частиците от филма с приблизителна островна или тръбна структура върху субстрата, както и от разсейване на решетката, разсейване на примеси, разсейване на дефекти в решетката и окисляване.
–Тази статия е публикувана отпроизводство на машина за вакуумно покритиеr Гуандун Джънхуа
Време на публикуване: 18 януари 2024 г.