Прамое іённа-прамянёвае нанясенне — гэта тып іённа-прамянёвага нанясення. Прамое іённа-прамянёвае нанясенне — гэта іённа-прамянёвае нанясенне без падзелу масы. Гэты метад быў упершыню выкарыстаны для атрымання алмазападобнай вугляроднай плёнкі ў 1971 годзе, заснаваны на прынцыпе, што асноўная частка катода і анода іённай крыніцы выраблена з вугляроду.
Адчувальны газ падаецца ў разрадную камеру, і дадаецца знешняе магнітнае поле, якое выклікае плазменны разрад ва ўмовах нізкага ціску, абапіраючыся на эфект распылення іонаў на электроды для атрымання іонаў вугляроду. Іоны вугляроду і шчыльныя іоны ў плазме адначасова індукуюцца ў камеру нанясення і паскараюцца для інжэкцыі на падкладку з-за адмоўнага ціску зрушэння на падкладцы.
Вынікі выпрабаванняў паказваюць, што іоны вугляроду з энергіяй 50~100 эВ прыпакойтэмпература, у Si, NaCl, KCI, Ni і іншых падкладках для падрыхтоўкі празрыстай алмазападобнай вугляроднай плёнкі, супраціўленне дасягае 10 Ом·см, паказчык праламлення каля 2, нерастваральны ў неарганічных і арганічных кіслотах, мае вельмі высокую цвёрдасць.
——Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 31 жніўня 2023 г.